白光扫描干涉测量方法与系统的研究.马龙.【摘要】：超精密技术的发展对检测技术提出了更高的要求,超精密检测技术应运而生。.白光扫描干涉术作为一种重要的测量方法具有非接触、测量速度快等优点,被广泛应用于超精密检测领域。.目前,对该技术的...
超精密表面的白光扫描干涉测量系统研究ResearchWhitelightScanningInterferenceSystemUltraprecisionMachiningSurface国家自然科学基金项目“超精密原位测量中异类光学传感器融合关键技术的研究”51005165
摘要:为得到被测表面的微观信息,根据垂直扫描白光干涉的特点,以阶高92μm的微流道为测量对象,测出理论上处在不同高度的3个点的干涉数据,使用改进质心算法、相移干涉法、白光干涉法、白光干涉相移法、包络线拟合法等算法从采集到三组干涉数据中提取出每两点之间的相对高度,并对各种算法提取...
本论文对白光扫描干涉测量方法与系统进行了深入的研究，以实现超精密表面的高精度测量。.研究工作主要包括以下几个方面：1、根据白光干涉的特性和原理，深入分析了不同类型的白光扫描干涉信号处理算法，通过对各类算法的分析和对比，提出了相...
白光干涉仪中有三种测量参数,分别为振幅最高点za,振幅最高点附近的相位零点zp和频域中相位的斜率zs,分析了这三种参数的特性。本学位论文的研究内容为:(1)研究了压电陶瓷的位移误差对白光扫描干涉仪的影响,发现位移误差不仅使测量结果偏离准确位置,还会给干涉信号的带来一定程度的畸变。
垂直扫描白光干涉光学轮廓仪是表面形貌和结构精密测量的重要仪器。.本文以实验室自主研发的垂直扫描白光干涉表面形貌测量系统为基础，对其光源优化、扩大垂直测量范围及形貌恢复算法等若干关键技术进行研究，有效改进了其性能。.系统采用白光LED...
姚锦晓.【摘要】：白光扫描干涉法在三维表面形貌的测量中有着广阔的应用前景。.本文在了解各种三维表面形貌测量方法的基础上，比较了各种方法的优缺点，对使用白光扫描干涉法高精度测量三维表面形貌技术进行了研究。.建立了在频域分析白光干涉图像...
仍hIl／吾\超连续白光z扫描技术测量材料的非线性光学特性研究括号＜＞表示时间上的平均。.从上一节我们已知对于简并的双光子吸收的极化强度的表达式和光强定义式，：—nc_E．E，带入（2一卜3一1）中可以得到：塑：娑，2hTl（n（2－l－3－2）一＝一，_TTlI...
本论文针对大量程高精度光程延迟线的参数选取、调节及稳定方法、扩展方法、白光干涉测量应用开展相关工作,其主要内容有:(1)根据光程扫描延迟线使用的光学器件性能及其参数分析,对其调节和锁紧结构进行设计。.通过对准直镜光斑、扫描波动进行计算,对...
白光干涉型Michelson光纤位移传感器的测量不确定度主要取决于白光干涉零级条纹位置的确定以及扫描装置(电磁位移器)的精度。确定干涉零级条纹的重复性(3σ)估计最大可偏差±1个条纹,即对应光源的半波长。对于两个峰值的确定,其重复性(3σ)可计算得:
白光扫描干涉术作为一种重要的测量方法具有非接触、测量速度快等优点,被广泛应用于超精密检测领域。目前,对该技术的研究主要集中在提高测量精度、测量效率与...
其次是干涉仪硬件研制,选用国产6JA型干涉显微镜作为主体,并设计PZT移相部件及图像接收系统,从而实现了白光扫描的自动测量。论文设计了仪器的软件部分,主要包...
白光扫描干涉三维表面形貌测量技术的研究摘要白光扫描干涉在三维表面形貌的检测中有着广阔的应用前景。本文在系统地分析和总结了各种三维表面形貌测量方法,...
通过对被测表面进行白光扫描测量,记录被测表面各点不同光程差位置的干涉信号,利用白光干涉信号峰值提取算法分别获取各点干涉信号的零光程差位置,进而得到被测表面各点的高度...
《第十届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)》2004年收藏|手机打开白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究陆振宇姚锦晓朱日宏高志山【摘要】:正1.引言白光干涉所形...
论文>期刊/会议论文>一种基于白光扫描干涉法表面形貌测量仪的研究8805067253分享于2015-09-0405:17:10.0一种基于白光扫描干涉法表面形貌测量仪的研究,白...
白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究.pdf,57156Y9硕士论文白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究摘要自光扫描干涉法在三维表面形貌的测量中有着广阔的...
摘要:研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息。根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉...
1申路;王宇华;杨永强;;基于白光干涉术的微器件三维表面形貌恢复研究[J];佛山科学技术学院学报(自然科学版);2012年04期中国博士学位论文全文数据库前1条1马龙;白光扫描...
相比于国外,国内关于白光干涉显微镜的研究主要集中于白光干涉测试的算法研究方面,对于轮廓仪结构部分的研究仍需要进一步的发展。论文网2白光扫描干涉测试算法...