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硕士专业学位论文论文题目基于SECS的半导体自动控制系统设计与实现研究生姓名智能信息系统论文提交日期2013基于SECS的...SECS通信基础2.1半导体的制程介绍2.1.1半导体前段制程介绍2.1.2半导体后道制程介绍102.2半导体自动化通信...
半导体行业中物料自动控制的应用研究-软件工程专业论文.docx,STOCKER的接口设计,以及对数据库性能方面的考虑,在这些设计的基础上,同时由于前期的规划、需求分析比较到位,使得这个系统基本涵盖了半导体搬运及流程的所有需求3)这个系统的设计完成,对于半导体行业中自动化物料搬…
论文为本人亲自撰写,并对所写内容负责。论文作者签名:半导体电子厂房控制系统的设计与实现摘要本论文主要讨论了半导体电子厂房控制系统的设计与实现。现场总线技术是一项新的自动化控制技术,可以改善控制系统的可靠性和稳定性,从而提高生产
1鲁战会;曹薇;;浅谈食品工厂自动化与计算机集成制造[A];21世纪人类食品面临的新问题学术论文集[C];2001年2刘春桥;张卫军;;模糊控制在浮选自动化中的应用[A];第十届全国煤矿自动化学术年会论文集[C];2000年3叶磊;;宣城500kV敬亭变电站自动化系统实施分析[A];华东六省一市电机(电力)工程学会输配…
半导体设备控制系统的优化设计与实现.【摘要】:面对海外设备厂商的市场垄断和技术,自主研发半导体设备既是国内半导体设备市场的迫切需求,也是国家意志的体现。.本文从控制程序设计、运动性能优化、控制功能升级以及通信机制建立四个方面提出了...
自动化仪器仪表在半导体行业的应用趋势-工业技术SClENCE&丁ECHN0LO0Y20。13—NO.02.皿圆...对最终产品质量起到直接的决定性作用,对气体流量的控制不1半导体行业对自动化仪器仪表需求分仅具备较高...
2008年7月机电工程MECHANICALELECTRICALENGINEERINGMAGAZINEV01.25No.7Jul-2008半导体设备通讯标准GEM的应用兵(浙江工业大学信息学院,浙江杭州310032)摘要:SECS/GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。
图半导体晶圆生产线构架简图如图所示,设备自动化系统与生产线中其它系统之间的通讯采用TibcoRV协议,TibcoRV是一种广播式通信格式。而设备自动化系统与机台之间通过SECS/GEM通信,从而实现…
在机电自动化控制系统的发展进程中,传感器作用不可忽视,它不仅能够满足系统运行稳定要求。而且还具备限制其信息的获取能力,保证导致系统信息不受其他因素影响。3传感器技术在机电自动化控制中的实际应用3.1环境检测
半导体制造过程中的先进控制技术.吴澍袁德成刘剑.【摘要】:随着晶圆日趋增大和关键尺寸的不断缩小,半导体制造过程的质量实时控制变得越来越重要。.在分析半导体制造过程的动态特性、模型辨识、扰动来源及特征、量测方法及控制要求的基础上,从机...
导读:此文是一篇半导体自动化论文范文,为你的毕业论文写作提供有价值的参考。(博益(天津)技术研究所有限公司北京100068)摘要:本文针对现阶段自动化仪器仪表...
使用的电力电子器件,很多是半导体制一、电气自动化控制系统的基本概述作。从当前市场情况来说,电力电子产品的市场前景广阔,基于依据系统单元机组的运行以及...
数字计算机应用促迚了它的产生,是自动化控制领域的第一次革命;第四代是DCS,其产生得益亍微处理器的广泛运用和半导体制造技术的成熟;第五代是FCS,它从DCS収展...
电气自动化控制论文鲁棒控制论文如何加强电气自动化控制设备可靠性探究要:本文主要阐述了电气自动化控制设备可靠性的重要意义的基础上,并根据电气自动化可靠性...
在电气工程自动化控制中应用PLC技术可以促进电气工程生产效率的提升,对于电气自动化技术水平的提高可以起到非常关键的作用,在当前的电气产业发展要求下,对电气...
3)这个系统的设计完成,对于半导体行业中自动化物料搬运起了决定性的作用,把以前需要依靠人为干预进行物料的自动化搬运,变成了物料的自动化派工以及动态控制自动...
伺服电机在自动控制系统中的应用摘要伺服系统是以机械运动的驱动设备,伺服电动机为控制对象,以控制器为核心,以电力电子功率变换装置为执行机构,在自动控制理论...
再后来,集成电路与半导体技术得到了一定的发展出现了计算机信息技术,这才逐渐出现了自动化技术,计算机技术的发展带动了自动化技术的发展,并开始在化工行业中得到运用。自动...
而PLC技术则更加全面,其通过内部的存储器,很好的将控制逻辑存储到了内存中,最终,通过半导体电路实现整个控制工作。相比于单片机控制技术、继电器控制技术,PLC技...
电气自动化毕业论文[自动化控制系统的介绍].doc,学习报告专业电气自动化报告名称自动化控制系统的介绍学生姓名金月指导教师付新党自动化广泛应用于现代...