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薄膜压力传感器工艺研究.李强.【摘要】：薄膜压力传感器由于其体积小、重量轻、功耗低以及可靠性高等特点而被广泛用于航空航天、石油化工、机械冶金、能源、环保等多个领域。.当前,国内外研究重点主要集中在以Si和SiC等半导体材料为基体的薄膜...
国防科学技术大学硕士学位论文溅射薄膜式压力传感器可靠性研究姓名：曾晓斌申请学位级别：硕士专业：机械工程指导教师：张春华;魏唯20090201围防科技人学研究生院T稗硕十学位论文溅射薄膜式压力传感器具有优越的耐恶劣环境性能，已成为中高压力测量的主力传感器，广泛应用于电力...
同时，结合表面微细技术，完成了薄膜压力传感器工艺的研究。.首先，采用两种方法对传感器基体抛光。.第一种方法是：采用UINIPOL-802精密研磨抛光机抛光。.具体流程是传感器基体先经过不同目数砂纸进行粗抛，再将粗抛后的传感器基体依次经过...
锰铜薄膜超高压力传感器研究.电子科技大学博士学位论文锰铜薄膜超高压力传感器研究姓名：杜晓松申请学位级别：博士专业：微电子与固体电子学指导教师：杨邦朝2002.4.1摘要摘要锰铜计是一种特种传感器，主要用于测量冲击波产生的超高压力。.溪...
多晶硅纳米薄膜压力传感器性能优良，有必要深入探索，未来建议试制包含肖特基二极管传感器芯片，在高灵敏度多晶硅纳米薄膜压力传感器结构方面进行创新研究。参考文献[1]袁方超.车用高温压力传感器的设计与分析[D].南京航空航天大学,2016.
论文导读：②传感元件将感受到的非电量直接转换成电量，是转换元件，如固态压阻式压力传感器。传统的电阻应变式压力传感器的电阻敏感栅是刻录在一层绝缘脂薄膜上，而薄膜又通过粘结剂粘合到弹性基片上，由于弹性元件与粘结剂及绝缘脂膜之间的弹性模量不同，弹性元件的应变不能直接传递...
柔性压电薄膜及压力传感特性研究.郭雪培.【摘要】：随着生活水平的不断提高,人类的身体健康状况逐渐受到重视。.生物医疗电子设备因其轻便、灵敏、可实时监控等特点受到了人们的青睐。.这些医疗电子设备不仅可以在人类行为活动时实时监测人体的...
多晶硅纳米薄膜压阻特性及其压力传感器应用研究.陆学斌.【摘要】：多晶硅薄膜良好的压阻特性使其在压阻式传感器中得到了广泛应用。.已有研究结果表明,多晶硅纳米薄膜与普通多晶硅薄膜相比具有更加优越的压阻特性,因此有着广阔的应用前景。.本文对...
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究技术,设计,研究,MEMS,工艺研究,压力传感器,关键技术,设计及,工艺技术,MEMS的厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下，完成的研究成果。
通过该课题的研究,提高了传感器的绝缘性能、稳定性能和温度性能,补偿后的产品-40～125℃范围内精度达0.1级,能在恶劣环境下长期稳定和可靠地工作。论文对薄膜压力传感器研制进行了有益的研究,对我国国防军事高性能压力传感器的开发有重要意义。
(保密的学位论文在解密后应遵守此规定)作者签名:导师签名:日期:摘要薄膜压力传感器由于其体积小、重量轻、功耗低以及可靠性高等特点而被广泛用于航空航天...
硕卜学位论文摘要本文探讨了薄膜压力传感器的工作原理,通过芯片工艺的研究与改进来提高产品的性能,应用集成电路,补偿软件对传感器误差进行有效补偿...
薄膜压力传感器工艺研究论文目录摘要第1-7页Abstract第7-11页第一章绪论第11-16页1.1选题背景及意义第11-12页1.2研究现状和进展第12-14页1.3论文的内容...
采用MEMS工艺制作的ZnO压电薄膜压力传感器,具有体积小、易集成、灵敏度和信噪比高等优点。但是复合微悬臂梁式传感器工艺较难,各层薄膜工艺存在兼容性问题。本文主要对ZnO...
1.3论文的内容和结构安排第14-16页第二章传感器原理及材料的选取第16-21页2.1引言第16页2.2功能...3.4.2等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)SiO2薄膜第33-35...
论文>毕业论文>超低温薄膜压力传感器的研究2009年增刊仪表技术与传感器InstrumentTechniqueSensor2009supplement超低温薄膜压力传感器的研究(航天长...
内容提示:电子科技大学博士学位论文锰铜薄膜超高压力传感器研究姓名:杜晓松申请学位级别:博士专业:微电子与固体电子学指导教师:杨邦朝2002.4.1摘要摘要...
合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展(学术论文),电阻应变式传感器,电阻应变式称重传感器,电阻应变式压力传感器,电阻应变片式传感器,电阻式薄膜压力传感器,电...
分类号密级UDC编号十南大学CENTRALSoUTHUNIVERSITY硕士学位论文学科、专业计算机应用技术研究生姓名何迎辉导师姓名及专:lk技术职务张修如副教授...
金刚石薄膜压力传感器的研究杨保和常明杨晓萍呈晓国【摘要】:金刚石的许多性质(例如,高硬度、高弹性模量、高屈服强度、化学惰性、低摩擦系数和高热传导)使...