中南大学硕士学位论文文献综述

一、图书馆网络信息服务研究

1.文献研究的数量

关于我国“网络信息服务”的文献研究起步于1998年，1998年上海医科大学图书馆莫梅琦、徐一新在《图书馆杂志》上发表的《网络环境下用户教育模式研究》，探讨了网络环境下的用户教育模式，指出网络环境改变了用户获取信息的传统方式，用户教育成为当今网络信息服务中的热门。1998年武汉大学图书情报学院张立发表了《高校用户潜在网络信息需求的显化》，指出随着社会信息化、信息网络化的推进，网络化的信息服务在社会生活的各个方面发挥着愈来愈重要的作用。由此，开始出现相关方面的研究成果。

1998～2009年间，共发表有关“网络信息服务”的论文319篇，这些论文分别来自包括图书馆学专业及人文社会科学其他专业167种国内公开出版的学术期刊，从论文年代分布来分析发展进程，12年的研究大体上可以分为3个阶段：

第一阶段：1998～2000年，起步阶段，有18篇论文发表。

第二阶段：2001～2005年，高峰阶段，研究论文逐年增多，5年中共有208篇论文发表，占总文献量的，并逐渐形成研究热点，这一时期可以看作是网络信息服务研究的高峰平台期。

第三阶段：2006～2009年，稳步阶段，4年共发表论文93篇，占总文献量的。

2.文献研究的内容

网络信息服务的理论研究方面。随着社会信息的网络化，图书馆已不再是获取信息的唯一场所，信息资源的社会化、信息服务手段的现代化、信息服务资源的网络化、信息服务效率的高效化已成为时代的主流，图书馆依托互联网这一数字化信息手段，利用信息处理技术与计算机终端设备向用户提供多方位的远程服务。通过对12年来发表的319篇论文主题的归纳分析，发现关于图书馆网络信息服务的理论研究占论文大多数(60%以上)，如《文献信息服务业何去何从?——网络环境下的重组和功能实现》(祁延莉等，2003)、《网络环境下图书馆信息服务面临的挑战与对策》(朱雅兰，2001)、《图书馆网络服务纵横谈》(高贤，2001)、《网络环境下图书馆网上信息的特色服务》(徐卫星，2002)，等等，都从网络信息服务的概念、意义、作用、内容、方式、手段及馆员知识结构等诸多方面，对图书馆文献信息服务作了充分论述。

网络信息服务的模式方面。用“网络信息服务*模式”为关键词，对319篇论文进行再次检索，共检索到25篇文献，占。这些文章都对网络信息服务模式进行了研究论述，尤其是其中的6篇硕士学位论文，研究论述得比较深入。《基于Internet的个性化信息服务模式及应用研究》(常昕，2007)，首先从经济学的角度阐述了个性化信息服务的理论基础，由于信息服务模式是随着信息服务的主要支撑技术发展而变化的，所以在对个性化信息服务的主要支撑技术基础上，对个性化信息服务基本模式进行了研究，并提出个性化信息服务功能模型；《现代图书馆网络信息服务模式研究》(沈英等，2007)，在充分调研和对国内外图书馆进行比较研究的基础上，运用问卷调查、文献调研和实例研究等多种科学研究方法，对现代图书馆网络信息服务的发展模式及其相关问题，进行了较为系统和深入的研究，从运营机制、服务类型、数字化信息资源建设和用户管理等方面详细论述了现代图书馆网络信息服务的发展模式；《网络环境下图书馆信息服务模式的探讨》(章丽华，2001)一文中，论述了网络环境下图书馆信息服务模式战略性转变的有效途径；《中南大学图书馆信息服务模式研究》(罗新星，2008)一文中，重点阐述了中南大学图书馆现有的联机公共目录查询、虚拟阅览室阅览、网络参考咨询、网络数据库服务、辅助性读者服务、信息资源导航、统一平台跨数据库文献检索等多种服务模式，分析了7种服务模式的功能、技术和流程，对存在的问题提出了解决办法。

3.总结与分析

当前，国内许多学者在研究图书馆网络信息服务，从网络信息服务的概念、意义、作用、服务方法、人员培养、运行模式及服务管理等方面进行了大量探讨，取得了许多有意义的理论成果。

一是网络信息服务研究文献增长迅速。从“中国学术文献网络出版总库”以“图书馆*网络信息服务”为检索策略，检出文献(1998～2009年)319篇中可以明显看出增长的概况。

二是网络信息服务研究的热点。网络信息服务研究在不同时期的研究热点、热度有所不同，研究成果的数量也有起伏变化，特别是2001年以来，国内对网络信息服务研究的论文呈明显增长趋势。主要表现为：第一是信息服务手段现代化。互联网改变了传统图书馆信息服务赖以生存的内外环境，使图书馆成为全球网络中的一个节点，以网络为基础的电子化、虚拟化、数字化成为图书馆的发展方向，众多的论文都从这一点出发，研讨了现代图书馆信息服务手段的现代化。第二是信息服务资源网络化。网络环境下的图书馆不但要加快、加强资源库的建设，还要依托互联网环境，以网站为开发与服务平台，以丰富的电子资源、数字化的馆藏和购买的商业数据库为主要内容，以信息传递、资源共享为特色的新型服务模式。第三是信息服务人员高素质。人员素质是决定信息服务质量的关键因素之一，要提高信息服务人员的素质，除需要引进人才外，还要加大资金投入，对现有的服务人员进行在职培训和继续教育，为他们参加各种培训、学术研讨提供方便，从而提高图书馆信息服务的水平和档次。

三是网络信息服务研究存在的主要问题。第一，用户缺乏网络知识和检索知识。图书馆用户对网络知识和检索知识缺乏深入的了解，一些用户与网络之间存在知识与技能障碍，用户所需的信息无法从网络上获得，丰富的网络资源得不到充分利用。第二，网络信息资源缺乏规范化统一标准。图书馆在信息加工、信息处理、数据录入等方面标准各异，没有统一的管理机构、统一的目录及统一的发布标准。第三，图书馆缺乏复合型人才。在网络信息服务环境下，图书馆馆员需要掌握现代网络信息检索知识和技术，在服务中起到网络信息导航员、网络系统维护专家、信息资源协调者等不同角色的作用，而实际上由于网络化建设、运行超前于复合型人才的培养锻炼，所以形成了高素质复合型人才严重缺乏的局面，直接影响网络信息服务的质量和效率。第四，网络信息服务缺乏合作。资源共享、服务共享是信息服务网络化发展的最终目标，网络的开放性和分布性决定了用户地域的分散性和广泛性，导致用户需求繁杂多样，依靠任何一个单一馆藏都无法从根本上满足读者需求，而许多图书馆竞相发展自己的网络系统，由于互不沟通，重复组网建库，使大量信息重复存储在各馆系统内，又因数据格式、标准体系不同及信息服务能力的差异，形成了一处处的资源割据。第五，理论探讨多，应用研究少，缺乏深度和创新。我国的研究者从各个方面对网络信息服务进行了探讨，取得了一定的成果，但是，理论探讨多，应用研究少；研究的学科特色不够突出；理论研究的文章观点大量重复、雷同；研究成果较为空泛，实用性不强；缺乏有说服力的实例。

二、图书馆信息服务模式研究

信息服务是图书馆最基本也是最重要的职能，信息服务是通过不同的信息服务模式来完成的，所以信息服务模式的研究也具有很长的历史。不过深入系统的研究是开始于20世纪90年代，我国信息服务模式的研究还落后于国外信息服务模式的研究。伴随着新技术的出现，新的服务模式也同步发展并处在不断探索中。

1.国内信息服务模式研究综述

(1)信息服务模式的分类

第一，三模式分类法。①传统的信息服务。在网络环境下，传统的信息服务还将继续存在。传统的信息服务包括馆藏文献的外借、阅览、复制、宣传报道服务、参考咨询服务、定题信息服务、专题信息服务、科技查新服务等，以及二次文献的书目、索引、文摘等形式的文献信息服务等。②网络化的传统信息服务。在网络环境下传统的信息服务的内涵和外延得到进一步扩展和延伸。文献信息机构利用网络进行外借、阅览、定题、专题、参考咨询，以及书目宣传、报道和检索等信息服务。③新型的信息服务。在网络环境下，出现了许多新的信息服务方式：网络数据库服务、搜索引擎、文献信息的全文检索服务、光盘信息服务、信息推送服务等。

第二，四模式分类法。①联机公共目录查询(OPAC)。通过联机书目查询系统，用户可以查询图书馆的馆藏书目信息。②数据库检索服务。包括光盘数据库、在线数据库、自建特色数据库、镜像数据库。③辅助性读者服务。包括简讯要闻、读者指南、网上咨询、读者反馈等。④电子化参考咨询服务。包括定题服务、虚拟图书馆、网上科技查新。

第三，二模式分类法。①传统信息服务在网络环境下的应用。这实际上是传统信息服务网络化的结果，主要有以下几种形式：基于文献检索的流通服务、基于网络阅览的文献传递服务、网上参考咨询服务、光盘远程检索服务。②新型的网络信息服务。包括基础网络信息服务、数据库服务、搜索引擎服务、网络信息资源导航服务、信息推送服务、数字图书馆服务及其他。

第四，还有一种基于网络范围的另一种三模式分类法。①基于图书馆内部局域网的信息服务。主要有提供图书馆书目文献联机目录和索引、网上预约服务、新书通报、定题服务、光盘数据库检索服务。②基于校园网开展信息服务。建立图书馆信息服务器、光盘局域网上网服务。③基于互联网开展信息服务。主要是建立各馆的网上在线目录体系，链接外部的虚拟图书馆开展馆际合作，利用互联网网络资源开展服务。其重要的标志就是数字化图书馆的出现和广泛应用。

(2)信息服务模式其他研究

研究者的主要观点有：①网络环境的形成，不仅使以计算机技术、网络技术等为核心的现代信息技术在图书馆得以广泛应用，而且使传统的文献信息服务在网络环境中进一步得到拓展，网络信息服务将成为主要的服务方式。②目前我国高校图书馆网络信息资源建设已初具规模，初级网络信息服务如简单浏览与检索服务已较为成熟。③新的信息技术不断涌现，如信息转播技术、指引库技术、智能代理技术和推送技术等。伴随着新技术的出现，新的服务模式也同步发展并正在不断探索中。④面对社会信息化和信息服务产业的挑战，高校图书馆存在如何以现代化的信息技术和产品来革新其服务内容与服务形式，加大信息资源开发力度，更好地利用网络开展信息服务的问题。

2.国外信息服务模式研究综述

美国作为世界上信息技术最为发达的国家，其高等学校图书馆的综合服务水平也很高，具有代表性。美国网络信息服务项目相当丰富，主要有下面几类特色鲜明的服务模式：

(1)专题数字馆藏服务

美国许多高等学校都根据其学科特点，对馆藏的特色文献进行了数字化，并且在网上提供组合利用。

(2)电子参考服务

不少高等学校都设有研究咨询服务，为信息用户在识别和定位最有价值的信息资源方面提供深入的帮助。

(3)网络出版

美国各高等学校图书馆积极和出版机构合作，探索新型学术信息出版和交流形式。

(4)用户培训教育

提供馆藏使用培训，还提供对用户研究和教学中信息技术的使用培训。

(5)网络教参服务

提供教程和学习资料两类电子信息。这些教材版本均与教育支持软件集成，以便学生进行注解和讨论。

(6)个性化主动信息推送服务

实时推送用户定制的专业信息或其他想要的信息。

(7)提供学习研究用的各种工具

集成各种对校园学术研究和教学有价值的信息资源与工具。

(8)联机目录查询

提供万维网模式的馆藏目录查询。

三、图书馆信息服务发展演变

1.国内图书馆信息服务发展演变

图书馆信息服务观念随着时代的演变不断发展、完善。我国是具有5000年悠久历史的文明古国，纵观历史，图书馆服务的理念从无到有、从简单到复杂、从机械到科学、从片面到全面主要经历了以下几个发展阶段：

(1)“公开藏书”服务观念的萌芽

由于受到封建社会制度的影响和制约，早期的藏书楼将藏书保存起来，作为其工作的主要职能。起初的藏书通常只允许封建统治者使用，平民百姓无从阅览。到宋朝以后，一些个别藏书者同意平民百姓借阅图书。为了扩大藏书的流通范围及传播力度，明末的曹荣在其著作中提出了要用传抄和刊刻的方法促使书籍实现传播、流通，但是在当时的社会反响力并不是很大。到了清朝道光年间，出现了以藏书楼为原型的“共读楼”，“共读楼”的作用是可以允许少量读者进入其中进行阅览，其管理者还制定了借阅细则，在细则中规定了开馆时间、借阅数量、管理办法等，这个借阅细则是当代图书馆工作准则的最早形态，也是早期较为完善的借书规则。古代公开藏书的目的是启迪大众的智慧，所以古代信息服务的特点为：第一，服务局限性较大，服务对象仅仅是少数有文化的人，但对平民百姓的服务却十分匮乏；第二，空间局限性较大，阅览范围仅限于室内，室外阅览无从提及；第三，出现了早期借书制度和规则。

(2)“面向大众”服务观念的产生

在1901年至1905年期间，书刊借阅活动及有关借阅方面的宣传活动被大力开展，其主张扩大读者服务范围，并采取积极热情的服务态度，体现了进步、新潮的服务思想。到1909年，《京师图书馆及各省图书馆通行章程》由清政府颁布，它的宗旨是全面开放，供人阅览。“五四”运动之后，革命先驱李大钊提出自己对图书馆的教育职能的理解，他认为图书馆不单单是存放书籍的地方，而且是教育人的地方；李大钊提倡将图书馆的藏书进行对外开放，让更多的人享受阅读书籍的快乐。有了先进思想的指导，当时的图书馆服务工作开展迅速，少数图书馆可以不定时地延长开馆的时间，为读者提供更多的阅读空间等。值得一提的是，在当时，有些图书馆还设置了流通代理处等设施和场所，并开展种类繁多的阅读指导活动。读者服务工作随着近代图书馆的产生而产生，它的服务工作特点是：第一，服务对象广泛，涉及社会各阶层人员；第二，服务方式由单一化向多样化发展；第三，服务时间延长，服务空间扩大。

(3)“读者第一”服务观念的形成

1949年以后，图书馆在服务理念及服务方式上发生了本质性的变化，图书馆逐渐摒弃影响图书馆发展的落后思想，形成了资源共享的服务理念。图书馆服务工作类型日趋多样化，服务范围和服务效率不断扩大和提高，图书馆服务工作发生了前所未有的变化。现代图书馆服务工作表现为：第一，读者成为图书馆服务工作的重心，图书馆已经彻底脱离了“藏书楼”的概念，已成为服务大众的文化教育场所和机构；第二，网络信息服务发展日趋完善，有替代普通流通服务之势；第三，服务手段及方式日趋现代化。

2.国外图书馆信息服务发展的演变

自从有了语言文字，人类就开始以泥板、竹、木为书写的载体，将最初的知识信息以符号文字的形式记录在载体上，这就产生了早在公元前2600年前，位于伊拉克境内的巴尔拨尔图书馆。从世界范围内看，公元前8世纪到公元前6世纪，图书馆经历了产生、发展、繁荣的过程。例如，希腊在雅典创建了第一个图书馆，亚述帝国在尼尼微建立了皇宫图书馆，阿拉伯文化鼎盛时期，巴格达城图书馆的数量高达30多所等。当文艺复兴运动兴起、改革运动开展时期，也就是西方近代图书馆起源时期。当欧洲进入资本主义时期，迫于机器生产需要高素质工人的实际情况，教育开始在欧洲广泛普及，从此文献需求量大大增加，致使原来封闭的图书馆向社会大众开放。与此同时，近代大学图书馆和专业性质的图书馆也得到了快速发展。在欧洲中世纪之前，西方并没有“大学”这一概念。这一时期之后，大学随之出现。但是，西方早期的大学并没有设置图书馆，但是教授可以拥有自己的私人藏书。所以，学生只能向书商买书或者向自己的老师借书。15世纪与16世纪之交时期，西方大学图书馆迅速发展，并且服务内容与规模也随之发展。

英、美等西方国家的公共图书馆形成于19世纪末20世纪初。在当时，公共图书馆事业取得了长足发展。二战之后，信息技术在欧洲等发达国家发展迅速，计算机等技术的应用，使图书馆向自动化、集成化、现代化迈进。全新、先进的技术使图书馆传统的服务方式得以改变，图书馆在各个方面有了本质的飞跃。20世纪的20～30年代，这一时期是图书馆理论发展的重要时期，也是世界图书馆发展史上的重要时期。因为，印度图书馆学家阮冈纳赞出版了《图书馆学五定律》，这一定律为世界图书馆的发展指明了方向。在20世纪的40～60年代，也发生了对图书馆发展来说较为有意义的事件。诸如《联合国教科文组织公共图书馆宣言》正式通过，情报学的诞生，计算机技术在图书情报界的应用等。到了20世纪70～80年代，国外图书馆的发展由于受到信息技术的冲击，几乎呈停滞状态。到了90年代，数字图书馆应运而生，数字图书馆的出现无论对当时、现在乃至未来，都具有划时代的重要意义。

3.结论

当今的时代是一个知识经济的时代，是一个创新的时代，信息的数量越来越庞大，信息需求的多样化、时空化对信息的整序和有效管理的要求越来越高。国内外图书馆信息服务发展演变研究对图书馆服务的理念从无到有、从简单到复杂、从机械到科学、从片面到全面进行了完整的剖析，从而进一步对高校图书馆信息服务创新研究，并且充分发挥高校图书馆为社会服务的职能具有重要的意义。

如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 1.论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 2.摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 3.关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 4.正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 5.参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~

本科毕业设计（论文）文献综述院 （系）：专 业：班 级：学生姓名： 学 号:年 月 日本科生毕业设计（论文）文献综述评价表毕业设计（论文）题目综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）评阅教师姓名 职称评 价 项 目 优 良 合格 不合格综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果03 文字通顺、精练、可读性和实用性强04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献成绩综合评语：评阅教师（签字）：年 月 日文献综述： 小四号宋空一行标题 二号黑居中空一行1 XXX 三号黑XXX 小四号宋，行距20磅 XXXX 小三号黑XXX 小四号宋，行距20磅 XXX 四号黑XXX 小四号宋，行距20磅空一行2 XXXX 三号黑(空1行)参 考 文 献(空1行)[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：][1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．下面的是我的文献综述文献综述:FTO透明导电薄膜的溅射法制备1 前言为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。2透明导电玻璃的种类及制备方法简介透明导电玻璃的种类 .1 TCO导电玻璃TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件.主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 ITO透明导电玻璃ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。透明导电玻璃FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大. FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。透明导电玻璃制备方法FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。磁控溅射法镀膜：溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。真空蒸发镀膜：真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。溶胶-凝胶法：溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。化学气相沉积法：化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。喷雾热分解法：喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势透明导电玻璃的研究现状自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到Ω/口，可见光透光率为％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。射频溅射：射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为— Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长， nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。透明导电玻璃的应用FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。在薄膜太阳电池上的应用太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。在显示器上的应用显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。在气敏元件上的应用气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 FTO透明导电玻璃的发展趋势随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：(1)导电性能好，电阻率较低；(2)可见光内透光率较高：(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；(6)表面形状良好，没有针孔；(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。4 制备条件对膜结构及光电性能的影响长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了——的结论。制备条件对膜厚的影响文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。制备条件对膜结构的影响晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。制备条件对膜光电性质的影响在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 退火对薄膜的影响退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］5 退火后处理对膜结构与成分的影响光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］6 FTO导电玻璃制备相关参数根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。7 参考文献1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877．8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et 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新能源汽车专业毕业论文参考文献

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