综述论文基本结构如下：
1、论文的名称
论文名称要能很好地概括论文的主要内容，能表达论文的主题，但是同时需要注意论文的题目不要太大，否则不容易深入写作。
2、作者的署名和单位
署名和单位这部分内容要求要真实，不能用化名，不能虚假。
3、摘要
作为文章的内容提要，要对论文有高度的概括性，摘要的书写要简明扼要，涵盖写作的目的、方法、结果、结论这四个方面。在摘要这部分内容中不需要大家列图表，不需要引文，也不需要缩略语，一般独立成章，在200-300字即可。
4、正文
正文分为前言、中心部分、小结部分以及参考文献部分。前言要求简单明了，点明主题就可以；中心部分要求严肃引用别人资料，将肯定意见写在前面，否定意见写在后面，不能片面的只写自己的观点；小结部分要对文章的主要内容作简要总结；参考文献部分要求10-20篇左右。
5、关键词
关键词要能反映文章主要内容，便于读者了解论文的主题。一篇论文可以有3-5个关键词，这几个关键词可以从正文、摘要以及文章的小标题里边选出，注意关键词写原形词，用规范语言，关键词之间空一格书写或者用分号隔开都行，最后一个关键词末尾不用加标点符号。
文献综述的写作要点
1、大量阅读文献
在撰写综述前一定要全面搜集资料，如果不能系统全面地把握研究现状，或片面理解他人研究结果，盲目地认为某问题或领域尚未被研究，就会使得自己的研究变成一种重复性劳动，或者脑洞开的太大，论文可行性不高。
2、综合分析
综述不能仅仅是将前人的观点罗列出来而未进行系统分类、归纳和提炼。如果是“综”而不“述”，那么即便是内容有一定的系统性，充其量也只是陈述了他人的观点，达不到通过分析、评说而发现和确立论文选题的目的。写文献综述可以采用“填充法”，简而言之就是画导图、列框架、不断细化内容。
论文研究框架图的画法如下：
打开一个WORD文档，点击菜单栏上”插入“。单击”SmartArt“，弹出对话框。
选择合适自己的架构图模式，点击，修改模式上的文字。选择框架图，点击菜单栏上设计视图，修改颜色和样式。
右键点击图文框，选择在合适的位置增加新的文本框。
大学论文形式上的框架，指的是论文的基本结构，主要包括：摘要、前言、文献综述、理论综述、正文、结论、致谢、参考文献等八个部分。
1、摘要：是论文的精华和浓缩，论文的水平、研究的层次基本上通过摘要都能看出来。所以这部分内容一定不能忽视，论文摘要根据背景引出问题，然后阐述解决措施，最后给出的建议以及结论，预期达到的效果。
2、前言：它是论文正文的第一部分，通常是以介绍论文的研究背景、研究现状、研究目的意义为主，这部分内容要注意不混淆，不能重复，干万不能把背景当现状，把目的当意义。
3、文献综述：在开题报告的基础上进行完善，文献综述有自己的格式和内容要求，主要阐述一些学术界的研究成果，存在哪些局限性，还有哪些改进的空间，主要是为了引出自己论文研究的的方向。
这篇文章属于直接将前人的一些成果的评述作为其中一个分论点板块，这样也是可行的，但条件是这个领域研究内容较为丰富且你足够了解。
论文文献综述的格式及各部分要求
在现实的学习、工作中，大家都写过论文吧，论文是指进行各个学术领域的研究和描述学术研究成果的文章。写起论文来就毫无头绪？下面是我帮大家整理的论文文献综述的格式及各部分要求，欢迎大家分享。
文献综述
文献综述一般由题名、著者、摘要、关键词、正文、参考文献几部分组成。其中正文部分又由前言、主体和总结组成。
1、前言部分
主要提出问题，说明写作的目的，介绍有关的概念及综述的范围，扼要说明有关主题的现状、发展动态或争论焦点，选择这一专题的目的、应用价值和实践意义，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。
2、主体部分
主要包括历史发展、现状分析和趋向预测几个方面的内容，可以采取纵横结合式的写法，如写历史背景采用纵式，写目前状况采用横式。
①历史发展：要按时间顺序，简要说明这一课题的提出及各历史阶段的发展状况，体现各阶段的研究水平。
②现状分析：介绍国内外对本研究的现状，包括本人的观点，将归纳、整理的科学事实和资料进行排列和分析，对有创造性的理论要详细介绍，并引出论据;对有争论的问题要介绍各家观点，进行比较，指出可能的发展趋势，并提出自己的看法。
③趋向预测：在纵横对比中肯定所综述课题的研究水平、存在问题和不同观点，提出展望性意见。这部分内容要写得客观、准确，不但要指明方向，而且要提示捷径。
3、总结部分
主要是对主题部分所阐述的主要内容进行述评，提出结论，赞成什么，反对什么，还要说明本综述的局限性，前任研究的优缺点有什么，自己的创新之处有什么等。
4、参考文献
这是写作综述的基础，最重要的是使读者在探讨某些问题时，提供查找有关文献的线索，可按参考文献查阅原文。因此编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。
论文参考文献的基本格式
1、按论文中参考文献出现的先后顺序用阿拉伯数字连续编号，将序号置于方括号内，并视具体情况将序号作为上角标，或作为论文的组成部分。
2、参考文献中，每条项目应齐全。文献中的作者不超过三位时全部列出;超过三位时一般只列前三位，后面加“等”字或“etc.”;作者姓名之间用逗号分开;中外人名一律采用姓在前，名在后的'著录法。
3、参考文献的序号左顶格，并用数字加方括号表示，如[1],[2],……，以与正文中的指示序号格式一致。每一参考文献条目的最后均以“.”结束。
各类参考文献条目的编排格式及示例如下：
a. 连续出版物：[序号]主要责任者.文献题名[J].刊名，出版年份，卷号(期号)：起止页码.
b. 专著：[序号]主要责任者.文献题名[M].出版地：出版者，出版年：起止页码.
c. 论文集：[序号]主要责任者.文献题名[C].主编.论文集名.出版地：出版者，出版年：起止页码.
d. 学位论文：[序号]主要责任者.文献题名[D].保存地：保存单位，年份.
e. 报告：[序号]主要责任者.文献题名[R].报告地：报告会主办单位，年份.
f. 专利文献：[序号]专利所有者.专利题名[P].专利国别：专利号，发布日期.
g. 国际，国家标准：[序号]标准代号.标准名称[S].出版地：出版者，出版年.
h. 报纸文章：[序号]主要责任者.文献题名[N].报纸名：出版日期(版次).
i. 电子文献：[序号]主要责任者.电子文献题名[文献类型/载体类型].电子文献的出版或可获得地址，发表或)更新日期/引用日期(任选).
【拓展内容】
论文引用文献标注小技巧介绍
在论文的撰写过程中需要参考大量的文献资料，很多人对论文引用怎么标注不太清楚。因为不同的杂志社要求的文献格式不同，文中的插入方法和文章后面的文献排列格式都不一样，很多同学在论文写完后需要花费很多精力去调整引用文献的格式。国内大部分期刊杂志都要求按照文献插入顺序进行排列，如果后期文章有改动，参考文献的增减和排列都会发生改变，工作十分繁琐，杂志社审核编辑如果对格式要求严格，那么你的论文就有可能被打回去，参考论文引用在论文写作过程中占有重要的地位。
软件Reference manager是专门用来管理参考文献的，它功能很强大，能对文献进行二次检索、管理，与Word结合还可完成论文中参考文献的插入，相信很多高手在写毕业论文的时候都用它解决了参考文献的插入问题。Mendeley 、Endnote的文献管理方式也很好，以批量导入文件或文件夹，也可以直接拖动PDF到Mendeley，所有文献自动云同步。有的人不习惯用这些软件，如果写的是期刊类文章，可以采用Word插入“脚注/尾注”的方式标注参考文献，光标移到要插入参考文献的地方，菜单中“引用”—“脚注/尾注”。 当插入下一条参考文献的时候，选择“下一条脚注”这样标注论文引用文献也是非常方便的。
在科研工作中，我们写论文引用大量的文献，掌握几个文献检索工具、文本编辑技巧、软件使用小窍门等都是非常重要的辅助工具，在撰写论文的过程中会大大提高工作效率！
写法如下：
一、论文的名称：将你对XX的研究成果的核心概念列为题目并附下署名。
二、内容提要：简明扼要的摘录你对XX论述的主要内容，要求精、短、完整、300字以内为宜。
三、找关键词：从论文的题目、内容提要和主要内容里找出3--8个，具有XX特征的关键词，关键词必须是能正确表述论文中心内容的词汇。需另起一行，将关键词排在内容提要的左下方，以便检索。
四、写正文的引言（前言）：概括的表明作者写此论文的目的、意义及论述的范围。要求短小、精悍，紧扣主题。
五、论文的正文部分：
1、提出XX的问题（论点）。
2、分析XX的问题（论据和论证方法）。
3、解决XX的问题（解决方法和解决步骤）。
4、得出结论。
六、列注论文的参考文献。
论文常用来指进行各个学术领域的研究和描述学术研究成果的文章，简称之为论文。它既是探讨问题进行学术研究的一种手段，又是描述学术研究成果进行学术交流的一种工具。它包括学年论文、毕业论文、学位论文、科技论文、成果论文等。
护理论文主要由六个部分组成：标题、作者、摘要、关键词、正文（前言、资料方法、结果、分析讨论）、参考文献。
标题的三要素为：研究对象、处理方法、结果。应展现文章的中心内容和重要论点，概括、准确、新颖 、精炼。
题目应反映论文最重要的特定内容，应用最恰当、最简明的词语逻辑组合来对主题进行概括，它是论文内容的窗口，在命题时应注意以下几点。
文题相符：即文题应准确反映论文的主要内容，与内容贴切。
醒目：题目要给人以新鲜感，诱导读者的阅读兴趣；精练：尽量用少的文字概括论文的中心内容，使之言简意赅 ，一目了然。
包括研究者、设计者、写作者。署名作者少于6 人为宜，投稿后不应再作改动。作者署名的目的包括三个方面：负责作；权利与荣誉的体现；便于学术交流。署名作者的条件：构思与设计者；文稿写作者；定稿者。
正文要求：
正文规范。为了做到层次分明、脉络清晰，常常将正文部分分成几个大的段落。这些段落即所谓逻辑段，一个逻辑段可包含几个小逻辑段，一个小逻辑段可包含一个或几个自然段，使正文形成若干层次。论文的层次不宜过多，一般不超过五级。
参考文献的规范及其作用。为了反映文章的科学依据、作者尊重他人研究成果的严肃态度以及向读者提供有关信息的出处，正文之后一般应列出参考文献表。
引文应以原始文献和第一手资料为原则。所有引用别人的观点或文字，无论曾否发表，无论是纸质或电子版，都必须注明出处或加以注释。凡转引文献资料，应如实说明。对已有学术成果的介绍、评论、引用和注释，应力求客观、公允、准确。伪注、伪造、篡改文献和数据等，均属学术不端行为。
一般题目以不超过20个字为宜，层次也不宜过多，副标题不用的尽量不用。
综述的写法及基本结构如下：
1、写法：
（1）纵式写法：
纵是历史发展纵观，它主要围绕某一专题，按时间先后顺序或专题本身发展层次，对其历史演变、状况、趋向预测作纵向描述，从而勾划出某一专题的来龙去脉和发展轨迹。
（2）横式写法：
横是国际国内横览，它就是对某一专题在国际和国内的各个方面，如各派观点、各家之言、各种方法、各自成就等加以描述和比较。
（3）纵横结合式写法：
纵横结合式写法在同一篇综述中，同时采用纵式与横式写法。
2、基本结构：
综述一般都包括题名、著者、摘要、关键词、正文、参考文献几部分。其中正文部分又由前言、主体和总结组成：
（1）前言：
用200～300字的篇幅，提出问题，包括写作目的、意义和作用，综述问题的历史、资料来源、现状和发展动态，有关概念和定义，选择这一专题的目的和动机、应用价值和实践意义，如果属于争论性课题，要指明争论的焦点所在。
（2）正文：
是综述的重点，写法上没有固定的格式，只要能较好地表达综合的内容，作者可创造性采用诸多形式。正文主要包括论据和论证两个部分，通过提出问题、分析问题和解决问题，比较不同学者对同一问题的看法及其理论依据，进一步阐明问题的来龙去脉和作者自己的见解。当然，作者也可从问题发生的历史背景、现状、发展方向等提出文献的不同观点。正文部分可根据内容的多少可分为若干个小标题分别论述。
（3）主体：
主要包括论据和论证。通过提出问题、分析问题和解决问题，比较各种观点的异同点及其理论根据，从而反映作者的见解。为把问题说得明白透彻，可分为若干个小标题分述。这部分应包括历史发展、现状分析和趋向预测几个方面的内容。
（4）小结：
是综述正文部分作扼要的总结，作者应对各种观点进行综合评价，提出自己的看法，指出存在的问题及今后发展的方向和展望。内容单纯的综述也可不写小结。
写综述的注意事项：
（1）题目不宜过大：
一般来说，题目过大，则不易把握论文的中心，不易深入透彻。
（2）参考文献不宜太旧：
综述一定要反映最新的他人研究情况，如果所引述文献都是若干年前的陈旧参考文献，则不能反映最新的研究动态。
（3）引用文献不宜过多：
文献综述的作者引用间接文献的现象时有所见。如果综述作者从他人引用的参考文献转引过来，这些文献在他人引用时是否恰当，有无谬误，综述作者是不知道的，所以最好不要间接转引文献。
（4）综述篇幅不宜太长：
杂志编辑部对综述的字数一般都有一定数量的约定。作者在初写综述时，往往不注意这点，造成虚话、空话较多，重点不突出。综述一般不宜超过6000字。
（5）自己的综合和归纳：
综述并不是简单的文献罗列，综述一定要有作者自己的综合和归纳。有的综述只是将文献罗列，看上去像流水账，没有作者自己的综合与分析，使人看后感到重复、费解。
以上内容参考：百度百科-综述
写法如下：
一、论文的名称：将你对XX的研究成果的核心概念列为题目并附下署名。
二、内容提要：简明扼要的摘录你对XX论述的主要内容，要求精、短、完整、300字以内为宜。
三、找关键词：从论文的题目、内容提要和主要内容里找出3--8个，具有XX特征的关键词，关键词必须是能正确表述论文中心内容的词汇。需另起一行，将关键词排在内容提要的左下方，以便检索。
四、写正文的引言（前言）：概括的表明作者写此论文的目的、意义及论述的范围。要求短小、精悍，紧扣主题。
五、论文的正文部分：
1、提出XX的问题（论点）。
2、分析XX的问题（论据和论证方法）。
3、解决XX的问题（解决方法和解决步骤）。
4、得出结论。
六、列注论文的参考文献。
论文常用来指进行各个学术领域的研究和描述学术研究成果的文章，简称之为论文。它既是探讨问题进行学术研究的一种手段，又是描述学术研究成果进行学术交流的一种工具。它包括学年论文、毕业论文、学位论文、科技论文、成果论文等。
综述论文基本结构如下：
1、论文的名称
论文名称要能很好地概括论文的主要内容，能表达论文的主题，但是同时需要注意论文的题目不要太大，否则不容易深入写作。
2、作者的署名和单位
署名和单位这部分内容要求要真实，不能用化名，不能虚假。
3、摘要
作为文章的内容提要，要对论文有高度的概括性，摘要的书写要简明扼要，涵盖写作的目的、方法、结果、结论这四个方面。在摘要这部分内容中不需要大家列图表，不需要引文，也不需要缩略语，一般独立成章，在200-300字即可。
4、正文
正文分为前言、中心部分、小结部分以及参考文献部分。前言要求简单明了，点明主题就可以；中心部分要求严肃引用别人资料，将肯定意见写在前面，否定意见写在后面，不能片面的只写自己的观点；小结部分要对文章的主要内容作简要总结；参考文献部分要求10-20篇左右。
5、关键词
关键词要能反映文章主要内容，便于读者了解论文的主题。一篇论文可以有3-5个关键词，这几个关键词可以从正文、摘要以及文章的小标题里边选出，注意关键词写原形词，用规范语言，关键词之间空一格书写或者用分号隔开都行，最后一个关键词末尾不用加标点符号。
文献综述的写作要点
1、大量阅读文献
在撰写综述前一定要全面搜集资料，如果不能系统全面地把握研究现状，或片面理解他人研究结果，盲目地认为某问题或领域尚未被研究，就会使得自己的研究变成一种重复性劳动，或者脑洞开的太大，论文可行性不高。
2、综合分析
综述不能仅仅是将前人的观点罗列出来而未进行系统分类、归纳和提炼。如果是“综”而不“述”，那么即便是内容有一定的系统性，充其量也只是陈述了他人的观点，达不到通过分析、评说而发现和确立论文选题的目的。写文献综述可以采用“填充法”，简而言之就是画导图、列框架、不断细化内容。
文献综述注意事项：
1.第一种结构：研究背景及意义--现状--评述--参考文献；第二种结构：研究现状--主流观点--存在的争议点与矛盾--参考文献；第三种结构：背景及演变--主流观点--研究方法--目前研究中存在的矛盾与不足--参考文献。
2、找文献综述，要满足这2个条件的：一新的，二有代表性的。文献综述不需要太多，一般10篇左右就够了。但是呢，每一篇文献综述都要花时间好好研读一篇。
3、在写文献综述的研究背景及意义时，字数不需要太多，一般200-300字左右就够了。写的时候，重点一点要突出，要涵盖这些内容：国内外背景、为什么选择这个课题、有什么意义等等。
4、写文献综述的评述时，字数要把握在200-300字之间。评述中不仅要指出亮点和缺点，还要进一步叙述接下来研究的思路。
5、写文献综述的'参考文献时，则要注意格式的问题了。不少朋友在写参考文献时，格式都出错了。所以格式问题要特别注意。
6、写文献综述时，切忌莫无中生有，任凭自己的想象力进行杜撰，这是一种很不负责的行为。另外，写文献综述要客观、公平、公正，千万别为了放大自己论文的亮点，故意抹黑、放大前人研究中的不足之处，要知道这种行为是很可耻的！
综述性论文写法如下：
一、标题
文献综述的标题一般多是在设计（论文）选题的标题后加“文献综述”字样。
二、提要或前言
此部分一般不用专设标题，而是直接作为整个文献综述的开篇部分。内容是简要介绍本课题研究的意义；将要解决的主要问题；如果本课题涉及到较前沿的理论，还应对该理论进行简要介绍；最后要介绍研究者搜集的资料范围及资料来源。
三、正文
这是论文文献综述的核心部分。应在归类整理的基础上，对自己搜集到的有用资料进行系统介绍。撰写此部分时还应注意以下两点：
1、对已有成果要分类介绍，各类之间用小标题区分。
2、既要有概括的介绍，又要有重点介绍。根据自己的分类，对各类研究先做概括介绍，然后对此类研究中具有代表性的成果进行重点介绍。
四、总结
对上述研究成果的主要特点、研究趋势及价值进行概括与评价。此部分应着重点明本课题已有的研究基础（已有成果为自己的研究奠定了怎样的基础或从中受到怎样的启发）与尚存的研究空间（本课题已有研究中存在的空白或薄弱环节）。
五、参考文献
要求列出的参考文献不少于15篇，且外文文献不少于3篇，并按论文中的参考文献的格式将作者名、文献名、文献出处、时间等信息全面标示出来。
本科毕业设计（论文）文献综述院 （系）：专 业：班 级：学生姓名： 学 号:年 月 日本科生毕业设计（论文）文献综述评价表毕业设计（论文）题目综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）评阅教师姓名 职称评 价 项 目 优 良 合格 不合格综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果03 文字通顺、精练、可读性和实用性强04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献成绩综合评语：评阅教师（签字）：年 月 日文献综述： 小四号宋空一行标题 二号黑居中空一行1 XXX 三号黑XXX 小四号宋，行距20磅1.1 XXXX 小三号黑XXX 小四号宋，行距20磅1.1.1 XXX 四号黑XXX 小四号宋，行距20磅空一行2 XXXX 三号黑(空1行)参 考 文 献(空1行)[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：][1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．下面的是我的文献综述文献综述:FTO透明导电薄膜的溅射法制备1 前言为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。2透明导电玻璃的种类及制备方法简介2.1透明导电玻璃的种类2.1 .1 TCO导电玻璃TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件.主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。2.1.2 ITO透明导电玻璃ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。2.1.3FTO透明导电玻璃FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大. FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。2.2FTO透明导电玻璃制备方法FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。2.2.1磁控溅射法镀膜：溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。2.2.2真空蒸发镀膜：真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。2.2.3溶胶-凝胶法：溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。2.2.4化学气相沉积法：化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。2.2.5喷雾热分解法：喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势3.1FTO透明导电玻璃的研究现状自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到6.2Ω/口，可见光透光率为86.95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到3.91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。射频溅射：射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99.99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是1.78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为0.5—1.5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，0.154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。3.2FTO透明导电玻璃的应用FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。3.2.1在薄膜太阳电池上的应用太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。3.2.2在显示器上的应用显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。3.2.3在气敏元件上的应用气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］3.2.4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。3.3 FTO透明导电玻璃的发展趋势随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：(1)导电性能好，电阻率较低；(2)可见光内透光率较高：(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；(6)表面形状良好，没有针孔；(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。4 制备条件对膜结构及光电性能的影响长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了4.1——4.3的结论。4.1制备条件对膜厚的影响文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。4.2制备条件对膜结构的影响晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。4.3制备条件对膜光电性质的影响在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。4.4 退火对薄膜的影响退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］5 退火后处理对膜结构与成分的影响光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］6 FTO导电玻璃制备相关参数根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为2.54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：1.5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。7 参考文献1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877．8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364．9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455．10、Huo Z，Dai S，Wang K，et a1．Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-／I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J]．Solar Energy Materials and Solar Cells，2007，91(20)：1959-1965．11、王璟和，射频溅射法制备透明导电陶瓷薄膜 天津大学12、姜磊等， 染料敏化太阳电池研究进展 内蒙古大学学报（自然科学版）13、曾志峰等， 射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究 武汉大学学报（理学版）14、段理、樊小勇等， 磁控溅射制备银掺杂 薄膜结构及光电性质研究 材料导报(研究篇)15、SunLL，TanO K，ZhuW G，et a1．Pb(Zro 3Ti0． 7)03／Pb-TiO3 multilayer thin films for pyroelectric infrared sensorapplication[J]．J Appl Phys，2006，99(9)：0941016、顾锦华、钟志有等， 真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响 中南民族大学学报(自然科学版)17、王磊、杜军等， 退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响 材料导报18、范志新等， 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式 电子器件19、刘庆业等， 射频溅射法研制SnO2纳米薄膜 广西师范大学学报（自然科学版）
文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。
一般来说是大四毕业论文，但若你有研究成果，论文时间视研究成果而定。论文类型：专题型这是分析前人研究成果的基础上，以直接论述的形式发表见解，从正面提出某学科中某一学术问题的一种论文。论辩型这是针对他人在某学科中某一学术问题的见解，凭借充分的论据，着重揭露其不足或错误之处，通过论辩形式来发表见解的一种论文。综述型这是在归纳、总结前人或今人对某学科中某一学术问题已有研究成果的基础上，加以介绍或评论，从而发表自己见解的一种论文。综合型这是一种将综述型和论辩型两种形式有机结合起来写成的一种论文。可根据各类型选择可写论文。
如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 1.论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 2.摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 3.关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 4.正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 5.参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~