我国研发分辨力最高的紫外超分辨光刻机，可生产10nm以下工艺...正努力加载中….国内的半导体芯片对进口依赖非常高，特别是高端的内存、闪存、处理器等芯片，国内的技术落后，还不能完全国产替代。.国内半导体在制造领域是落后最多的，很…
11月29日，由中国科学院光电技术研究所（以下简称光电所）承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收，该装备用365nm波长...
国产光刻机产业链，又迎好消息。近日，据中国微米纳米技术学会报道，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员，与国家纳米科学中心刘前研究员合作，在《纳米快报》（NanoLetters）上发表了题为《超分辨率激光光刻技术5nm间隙电极和阵列》（5nmNanogapElectrodesandArraysbya...
经过近七年艰苦攻关，“超分辨光刻装备研制”项目通过验收。这意味着，现在中国有了“世界上首台分辨力最高的紫外(即22纳米@365纳米)超分辨光刻装备”。换句话说，我国科学家研制成功了一种非常强大的光刻机。光刻机，那可是芯片制造的核心装备。
我国成功研制出世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备可22纳米芯片.该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合多重曝光技术后，可用于制造10纳米级别的芯片。.据@军报记者11月29日消息，由中国科学院光…
中国成功研制超分辨率光刻机：可10nm芯片，打破国外垄断.由中国科学院光电技术研究所主导的项目“超分辨光刻装备研制”29日通过验收。.该光刻机光刻分辨力达到22nm，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10nm级别的芯片。.中科院理化…
经过近七年艰苦攻关，“超分辨光刻装备研制”项目通过验收。这意味着，现在中国有了“世界上首台分辨力最高的紫外(即22纳米@365纳米)超分辨光刻装备”。换句话说，我国科学家研制成功了一种非常强大的光刻机。光刻机，那可是芯片制造的核心装备。
来自中科院官方的消息报道，中科院光电所所长、超分辨光刻装备项目首席科学家罗先刚研究员介绍说，2012年，该所承担了超分辨光刻装备这一国家重大科研装备项目研制任务，经过近7年艰苦攻关，在无国外成熟经验可借鉴的情况下，项目组突破了高均匀性照明、超分辨光刻镜头、纳米级分辨力检...
昨天关于中国成功超分辨率光刻机的新闻刷爆了朋友圈，这个新闻出来以后，出现了两个极端，一堆人说很牛，一堆人说吹牛。那么这两种说法...
开发一套高精度的激光直写系统，用于研究掩模超分辨光刻及其它纳米材料，把可见光波段的激光直写光刻应用到纳米光学制造领域，并形成核心技术的自主知识产权，为中国的半导体制造及微纳领域提供一种低成本、高性能的技术手段，这就本论文的意义...
2018年11月29日,一则名为“宽刀雕细活我国造出新式光刻机”的消息刷爆网络,援引自新闻中的消息,我们可以看到,由我国中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨率...
中科院造出最强紫外超分辨光刻机我国在芯片制造领域取得新突破!经过近七年艰苦攻关,“超分辨光刻装备研制”项目通过验收。这意味着,现在中国有了“世界上首台分辨力最高的...
我国新一代超分辨光刻机通过验收本报见习记者高雅丽本报记者彭丽收藏下载阅读或下载前,请确认您已经安装了CAJViewer!【正文快照】随着微纳米技术向光学领...
11月29日,中科院光电技术研究所研制的超分辨光刻机通过了国家验收。中科院光电技术研究所经过7年的研究,成功绕过了国外的知识产权,自主研发出世界首台超分辨光刻机,打破了国外的技术...
昨天关于中国成功超分辨率光刻机的新闻刷爆了朋友圈,这个新闻出来以后,出现了两个极端,一堆人说很牛,一堆人说吹牛。那么这两种说法到底谁对谁错呢?我们先看一下新闻:由中国科...
2018年11月29日,一则名为“宽刀雕细活我国造出新式光刻机”的消息刷爆网络,援引自新闻中的消息,我们可以看到,由我国中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装...
11月29日,由中国科学院光电技术研究所(以下简称光电所)承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收,该装备用365nm波长的紫外光单次成像实...
中科院造出最强紫外超分辨光刻机.pdf,中科院造出最强紫外超分辨光刻机我国在芯片制造领域取得新突破!经过近七年艰苦攻关,“超分辨光刻装备研制”项目通过验...
经过近七年艰苦攻关,“超分辨光刻装备研制”项目通过验收。这意味着,现在中国有了“世界上首台分辨力最高的紫外(即22纳米@365纳米)超分辨光刻装备”。换句话说,我国科学家研制成功...
经过近七年艰苦攻关,“超分辨光刻装备研制”项目通过验收。这意味着,现在中国有了“世界上首台分辨力最高的紫外(即22纳米@365纳米)超分辨光刻装备”。换句话说,我国科学家研制成功...