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等离子体化学反应,主要有下列四种类型:式为化学蒸发,主要应用于集成电路的蚀刻:式为化学气相沉积,主要应用于特异功能膜的:式应用于材料表面改性:式则适用于无机和有机化学.等离子体在无机化学中的应用2.1等离子体任尢机巾的应用2.1.1
等离子体化学气相沉积石英玻璃的基础研究材料是人类可以利用的物质，一般是指固体。而材料学是研究材料的或工艺、材料结构与材料性能三者之间的相互关系的科学。涉及的理论包括固体物理学，材料化学，..
研究论文硅纳米带电弧等离子体的及其储锂电化学特性余洁意,高嵩,董星龙教育部三束材料改性重点实验室大连理工大学材料科学与工程学院大连116024ElectrochemicalPerformanceofSiNanoribbonsasAnodeMaterialforLi-ionBatterySynthesizedby
摘要：采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,在甲烷和氢气的混合气体中,通过掺入微量氮气的方法,了掺氮金刚石薄膜.利用扫描电子显微镜,拉曼光谱和透射电子显微镜对薄膜的形貌和结构进行了表征.研究结果表明:处于基片中心位置的薄膜具有比较高的成核密度,成核密度高达4.8×108cm-2,并且...
位论文干燥空气低温等离子体（脉冲电弧放电）定光栅摄谱仪便携式气体分析仪活性基团类型、能量和浓度变化规律化学反应生成物中气体过程成分分析建立化学反应动力学模型计算机数值模拟1.1论文采用的技术路线电弧放电一氧化氮的光谱诊断
自然界中等离子体普遍存在于恒星、星际天体、地球电离层等宇宙空间。紫外线、X射线等放射线、高温、电场或冲击波均可导致等离子体形成。等离子体化学一般只涉及电场条件下气体放电形成的等离子体。1.1电子雪崩在等离子体放电体系中，在电极间电场强度足够大时，工作气体粒子获得能量...
武汉理工大学材料学院武汉430070摘要：本文研究开发了以高频等离子体作为热源，用化学气相沉积法高纯石英玻璃的实验装置。液滴生长凝聚动力学的分析表明，等离子体化学气相沉积过程中的颗粒沉积过程分为三个阶段：化学反应阶段，成核阶段，粘附沉积阶段。
东华大学硕士学位论文常压等离子体对高分子材料表面刻蚀的研究姓名：周荃申请学位级别：硕士专业：等离子体物理指导教师：张菁20070101常压等离子体对高分子材料表面刻蚀的研究摘要本文主要论述了应用常压等离子体刻蚀处理高分子材料表面，以获得具有纳米级图案化的表面特征，并...
最新博士论文—《等离子体射流激励器本体特性及其应用研究》摘要第1-6页abstract第6-21页第一章绪论第21-37页1.1引言第21-22页1.2主动流动控制技术
等离子体就是处于电离状态的气体，其英文名称Plasma是美国科学家Langmuir于1927年在研究低气压下汞蒸汽中放电现象时命名的。等离子体由大量的电子、离子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须相等，整体表现出电中性，这就是”等离子体“的含义。
正文试述等离子体技术在化学中的应用2摘要:摘要:随着科技的快速发展,等离子体技术也得到了广泛的应用,文章从等离子体在无机化学等斱面迚行了阐述...
能源研究与管理2010(开发与应用等离子体化学随着当代高技术的发展而生,作为交叉学科的前沿研究领域,经短短20年以上的发展,目前已在化学、新材料研制、...
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039…nCaTdhaeilaCihmcre术应用试述等离子体技术在化学中的应用李建庆(江苏剑牌农化股份有限公司,江苏盐城27)2400摘要:随着科技的快速发...
现代化工,1991,1:48252赵于文.低温等离子体在化学中的应用.现代化工.1991.48-52赵于文.低温等离子体在化学中的应用[J].现代化工.1991(01)赵于文.低温等离子体...
大连海事大学硕士学位论文常温常压无催化剂CH<,4>与N<,2>等离子体新物质研究姓名:王宁申请学位级别:硕士专业:环境科学指导教师:白希尧20040301摘要...
攘术唐用麓中国化工贸易ChinaChemicalTrade试述等离子体技术在化学中的应用李建庆(江苏剑牌农化股份有限公司,江苏盐城224700)羹益星...
【摘要】:过氧化氢(H_2O_2)作为一种高效的绿色氧化剂广泛应用于电子工业、化学品、航天军工等领域。本文在实验室前期工作基础上,开展了添加气促进等离子体直接H_2O_2...
此外,还利用等离子体化学反应对二维电学材进行了可控修饰,实现了电学性能的调控。PECVD法所得纳米材料及其应用展示本文先对课题组利用PECVD法二维材料的研究进展进行了评...
等离子体温度高,能难熔的金属或化合物,产物纯度高,在惰性气氛中,等离子法几乎可所有的金属纳米材料。以上介绍了几种常用的纳米材料物理方法,这些方法基本不...