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收稿日期1999-07-12硅片清洗原理与方法综述刘传军赵权刘春香杨洪星电子四十六所,天津300220摘要对硅片清洗的基本理论、常用工艺方法和技术进行了详细的论述,同时对一些常用的清洗方案进行了浅析,并对硅片清洗的重要性和发展前景作了简单论述。
硅片常用尺寸包括4、6、8、12英寸;其中,半导体主要使用8英寸和12英寸大硅片。在相同工艺条件下,12英寸硅片可使用率是8英寸硅片的2.25倍,12英寸大硅片成为未来的主要发展趋势。4、硅片下游应用…
在尺寸上,硅片的发展路径是越来越大:在集成电路发展初期,使用的是0.75英寸晶圆。而增加晶圆面积,增加单片晶圆上的芯片个数可以降低成本。1965年左右,随着摩尔定律的提出,集成电路技术和硅片都迎来快速发展期。硅片经历了4寸、6...
作为衬底的单晶硅片根据尺寸不同,厚度位于500-800微米,常用的外延层厚度为2-20微米。为什么需要外延工艺?外延生长技术发展于20世纪50年代末60年代初,为了制造高频大功率器件,需要减小集电极串联电阻。
【报告链接】2021年中国半导体材料行业分析报告-行业规模与发展趋势预测-观研报告网1、刻蚀用单晶硅材料工艺难度大,是解决硅电极与大硅片国产化的核心2021年,中国共产党第十九届中央委员会第五次…
太阳能硅片多线切割设备的发展史伟英利能源(中国)有限公司河北保定071051【摘要】本文介绍了多线切割技术的发展历史,分析了硅片线切割设备的现状,阐述了硅片线切割设备国内发展情…
表5:我国国家层面硅片产业部分政策...22表6:中国8/12英尺大硅片规划产能情况(万片/月)...23[报告关键词]:大硅片半导体所属专题:电子产业×定制...
但和集成电路的其他领域一样,中国在硅晶圆产业方面的不完善,在某种程度上看来,会成为中国集成电路发展的瓶颈。有见及此,最近两年,国内掀起了一股硅片建设潮。在本文里,杨院士给我们...
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从提高硅集成电路成品率,降低成本看,增大直拉硅(CZ-Si)单晶的直径和减小微缺陷的密度仍是今后CZ-Si发展的总趋势。目前直径为8英寸(200mm)的Si单晶已实现大规模工...
《多晶硅及太阳能电池技术发展研讨会论文集》2011年收藏|手机打开硅片和电池技术发展对硅料的要求路景刚【摘要】:正~~【作者单位】:无锡尚德太阳能电力有限公司【分类...
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