本文通过对国际、国内现行的半导体涂胶、显影工艺过程的研究,设计了套适合二线市场工艺使用的全自动涂胶、显影设备控制系统,该系统采用集散控制系统思想,运用32位的ARM7芯片作为控制系统的管理核心,8位51芯片作为各模块单元的控制芯片；通过功能强大
【摘要】：半导体及显示器工业的制造方法是在硅半导体或玻璃基材上制造电子线路,而黄光微影是定义图形的关键技术,其中包括涂布、曝光、显影三个主要过程。涂布光刻胶曝光后,发生光化学反应,会改变原有化学特性,显影后将受光的区域中和,留下未曝光区的光刻胶,完成图形定义。
毕业设计（论文)半导体光刻工艺技术.doc,毕业设计（论文）报告题目半导体光刻工艺技术系别尚德光伏学院专业液晶显示技术与应用班级0801学生姓名学号指导教师2011年4月半导体光刻工艺技术摘要：在平面晶体管和集成电路生产中，要进行多次的光刻，以实现选择性扩散和金属膜布线的...
涂胶设备3）软烘涂完光刻胶后，需对硅片进行软烘，除去光刻胶中残余的溶剂，提高光刻胶的粘附性和均匀性。未经软烘的光刻胶易发粘并受颗粒污染，粘附力会不足，还会因溶剂含量过高导致显影时存在溶解差异，难以区分曝光和未曝光的光刻胶。
其中涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套使用的，具体又可分为涂胶、烘烤及显影设备。来自芯源微的前道事业部总经理谢永刚告诉我们的记者，“目前半导体设备国产化是大势所趋，而目前芯源的适用于28nm工艺制程的抗反射层涂胶设备已经在国内某国际大厂中验证成功，投入量产。
专业:光学.[求助]求助大神，光刻胶显影出现脱落，怎么办？.已有3人参与.我在硅片上镀了一层金属，又做了几层纳米级的介质，用正胶1805做的光刻结构，前烘和后烘都做了，温度100℃，显影后冲洗光刻胶脱落了，是因为金属反光的原因吗？.还有这个金属层...
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期刊论文[1]精益六西格玛在半导体材料生产线中的应用[J].蔡丽艳,郝玉清,安瑞阳,赵伟,刘佐星,刘云霞,郑捷,赵而敬,徐继平.价值工程.2018(31)[2]半导体涂胶显影机产能分析[J].祁峰.中国新技术新产品.2018(05)[3]半导体制造企业应急响应管理中的优劣势分析
光刻胶综述：光刻胶的作用、分类.光刻胶和光刻机是半导体产品制造必须打两大关键材料。.光刻胶又称光致抗蚀剂(photoresist),是利用光化学反应进行图形转移的媒体,它是一类品种繁多、性能各异,应用极为广泛的精细化学品,本文主要介绍在电子…
本篇论文共55页，点击这进入下载页面。.更多论文.半导体0.18um工艺金属层MUV光刻技术.StageGate在K公司受话器研发项目质.多频带手机天线的研究与实现.基于压缩感知的无线传感器网络节能.基于移动无线传感网络溢油监测方法.基于可信计算的RFID移动支付...
下载论文网关键词:半导体;涂胶显影机;产能计算;优化建议中图分类号:TN305文献标志码:A本文所研究的半导体涂胶显影机是一种将多种生产工艺相结合的半导体设...
摘要:中国半导体行业发展越来越快,半导体设备的产能,即晶圆传送方法的研究在半导体装备研制的过程中的作用愈加关键。涂胶显影设备更需传片方法来指导装备的布局...
本发明涉及半导体生产中涂胶显影机内工艺处理模块的技术领域,具体地说是一种涂胶显影机的工艺模块布局方法.所述涂胶显影机包括依次串接的片盒站,工艺站及接口站,其中工艺站内...
半导体涂胶显影机产能分析.doc,半导体涂胶显影机产能分析摘要:中国半导体行业发展越来越快,半导体设备的产能,即晶圆传送方法的研究在半导体装备研制的过程中的作用愈加关键。涂胶显...
而涂胶显影技术的好坏对于光刻工艺来讲也有着重要的影响。半导体制造工艺与设备19(总第263期)Apr.2017电子工业专用设备EquipmentforElectronicProducts...
半导体设备涂胶显影SSITrack500(图)2008-6-902:2214150分类:EDA/IP/设计与制造我公司设备是美国intel公司FAB7厂6英寸生产线设备,现有大量设备和...
三.积极布局涂胶显影和清洗设备的半导体前后道工艺（1）涂胶显影据VLSI数据显示，全球前后道涂胶显影设备规模可从2018年24.13亿美元增长至2023年25.83亿美元，年复合增长率达1.37%...
半导体涂胶显影机产能分析摘要:中国半导体行业发展越来越快,半导体设备的产能,即晶圆传送方法的研究在半导体装备研制的过程中的作用愈加关键。涂胶显影设备更需传片方法来指...