文献类型：学位论文作者郑亚忠文献子类硕士导师步扬关键词光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺Lithographytools,Waferstage,Positionmeasurement,Planegratingencoder其他题名StudyonthePositionMeasurementTechniqueofWaferStage...
NIKON光刻机的对准优化设计论文.doc,大漠天下原创作品,原创力文档版权提供，违者必究，PAGE\*MERGEFORMAT46PAGE\*MERGEFORMAT46PAGE\*MERGEFORMATPAGE\*MERGEFORMAT1本科毕业设计(论文)论文题目：关于...
微电子工艺——光刻工艺学生姓名电子科学与技术指导教师二O一三光刻工艺南京信息工程大学电子工程系，南京摘要：光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺，在此之后，晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。.被...
论文:摘要：微电子技术的发展一直是光刻设备和技术变革的动力，21世纪光刻技术将继续居于诸多技术之首。本文通过介绍光刻机的演变和所面临的挑战，揭示下一代光刻设备的发展潜力，通过比较浸没式光刻、极紫外光刻机和电子束曝光机的开发现状和特点，预言将来利用极紫外光刻机、电子束...
跟大家分享几款一直使用的英文文献网站.OpenAccessLibrary（OALib）.的论文度存量足有了400多万篇，包括数学、化学、计算机、人文、工程、生物、材料、医学和人文科学等领域，所有论文免费下载。.这个网站的一大好处就是可以直接在线预览，不用下载…
按所用光源，光刻机经历了五代产品的发展最初的两代光刻机采用汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line作为光刻光源，可以满足0.8-0.35微米制程芯片的生产。最早的光刻机采用接触式光刻，即掩模贴在硅片上进行光刻，容易产生污染，且掩模寿…
外文文献数据库（NSTL）.简单介绍：外文文献反映了世界各国科学技术的先进水平，及时报道了国际重要科研成果和科研动向，是科研人员研究新课题、推出新成果的重要情报源。.万方数据与NSTL合作，将NSTL的外文期刊及外文会议论文文献数据库资源与万方数据...
ASML公司光学光刻技术最新进展2002年9月微细技术M1CROFABRICA＇I、IoNT’ECHNoLOGYNo3Sep．2002文章编号：1003—8213（2002）03－0008—04ASML公司光学光刻技术最新进展张强，胡松，姚汉民，刘业异（中国科学院光电技术研究所，成都610209）摘要：荷…
论文简介了光刻技术发展的最新动态并详述了主流的ArF浸没式双工件台光刻机发展现状,在此基础上确立本论文的研究对象.对ArF浸没式双工件台光刻机中步进扫描运动模型进行研究:在简述双工件台光刻机步进扫描运动机理的基础上,研究了其运动坐标系,运动中的
光刻机是集成电路制造的核心装备，其技术水平决定了集成电路的集成度，关乎摩尔定律的生命力。王向朝研究员谈光刻机难在哪儿（视频来自中国激光微信公众号“五分钟光学”专栏）光刻机是迄今为止人类所能制造的最精密的装备。
近年来,新型光电子器件的不断涌现为光电式传感器的进一步应用开创了新的一页尤其是CCD图像传感器的出现。2光电传感器的原理光电传感器是以光电器件作为...
光刻机集光学机械,微电子,计算机,自动控制和精密测量等高新技术于一体,是集成电路制造的关键设备.为维持光刻机正常作业,以企业损失最小为优化目标,对于光刻机常...
机械毕业设计英文文献简单版10111213zhenzh6分享于2014-08-0911:25:10.0机械毕业设计英文文献简单版,机械毕业设计,机械自动化毕业设计,机械类毕业设计,毕...
写文章登录写毕业论文时如何看懂英文文献?阳阳谈论文写毕业论文时如何看懂英文文献?发布于08-13本科毕业论文参考文献研究生毕业论文赞同添加评论分享喜欢收藏申请转...
光刻机技术是大规模集成电路制造领域中的核心技术.文章介绍了光刻机的概念,结构及其简要技术发展历程,并列举和解释了光刻机技术领域的重点技术术语,此外,针对光刻机技术的专...
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单片机英文文献及翻译，3000字左右急需谢谢[复制链接]谁有单片机相关英文文献及翻译，3000字左右急需...
新科技摇新名词“光刻机冶的概念、技术及其在专利文献中的分布王晓东(国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心,北京摇100190)摘摇要:光刻机技术是大规...