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(2)某多晶硅厂对还原操作使用的洁净手套、无尘纸等洁净用品进行了检测，检测结果见表4。由表中数据可以看出，洁净用品中存在的Na、Mg、K、Ca、Cr、Fe、Ni、Cu、Zn等金属颗粒附着于硅芯表面，对硅芯也会造成一定污染，随着还原炉内反应这些金属颗粒同时扩散到硅棒表面，从而影响多晶硅…
＊多晶硅及硅片少子寿命的检测与分析刘淑萍，贺珍俊（内蒙古神舟硅业有限责任公司，内蒙古呼和浩特010070）摘要少数载流子寿命是半导体晶体硅材料的一项重要参数，它对半导体器件的性能、晶体硅太阳能电池的光电转换效率都有重要的影响。
半导体材料对现代社会的影响光电检测论文.doc,半导体材料对现代社会的影响材料是人类进化史的里程碑，现代文明的重要支柱，是发展高新技术、社会现代化的物质基础与先导。在所有材料当中，带领我们进入如今信息时代的首位功臣—半导体材料却是后来居上。
【摘要】：在集成电路制造工艺中,附着在Si片表面的杂质颗粒一直是影响晶圆良率的重大因素,其中在栅极多晶硅刻蚀后的氮氧化硅(SiON)掩膜层湿法去除工艺中,所使用的热磷酸(H3PO4)湿法刻蚀尤其容易产生杂质颗粒。详细分析了热H3PO4湿法刻蚀中杂质颗粒的形成机理,并且提出三种不同的解决途径,然后...
半导体硅片金属微观污染机理研究进展.SemiconductorTechnologyVol．29No．8August2004531引言随着ULSI技术的不断向前发展，对半导体硅的表面性质要求也越来越严格。.而且电路的集成度日益提高，单元图形的尺寸日益微化，污染物对器件的影响也愈加突出...
多晶硅还原反应影响因素研究.【摘要】：改良西门子多晶硅生产工艺中多晶硅生长影响因素主要分为两个方面,内在质量因素和外在质量因素。.内在质量因素和反应物料的品质有关,对还原反应成本影响较小,外在质量因素如硅棒温度、还原炉内压力、混合气...
多晶硅太阳能电池工艺16参考文献单晶硅太阳能电池生产工艺的研究：[硕士学位论文].长沙：湖南大学微纳光电器件及应用教育部重点实验室，2010刘志刚.多晶硅太阳电池新腐蚀液的研究及其应用：[博士学位论文].
多晶硅太阳能电池工艺((论文)).doc,XINYUUNIVERSITY毕业设计（论文）（2013届）题目多晶硅太阳能电池工艺二级学院新能源科学与工程学院专业光伏材料及其应用班级10级光伏材料（一）班学号学生姓名纪涛指导教师胡...
半导体器件制造工艺及设备论文栏目下面包含有约827篇半导体器件制造工艺及设备硕士学位论文和博士学位论文，或是相关的...
半导体纳米材料在电分析及光电化学中的应用研究.李桢臻.【摘要】：生命信息分子是调控人体生理活动的一类重要物质,对其高灵敏的检测分析可以帮助人们揭示出生命系统中信息的产生、存储、传输、、转换和控制等基本规律,并准确阐释生命活动机理...
内容提示:20J3年9月(上旬刊】『煤矿能源浅谈多晶硅中杂质的含量分布及检测李海霞青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司摘要:...
Y1768418PlIrfllillII多晶硅样品中硼、磷及金属杂质测定与机理探讨摘要专业名称:分析化学申请人姓名:田俊导师姓名:李核本文以多晶硅为样品,主要以硼、磷及...
为了摸索多晶硅出炉后的各个处理过程的杂质引入方式,改善现有的多晶硅后处理工序,检测多晶硅产品表面的清洁度至关重要。本文采用电感耦合等离子体质谱仪(IC...
内容提示:毕业设计(论文)题目:电化学腐蚀多晶硅表面织构的研究系别材料工程系专业名称高分子材料与工程班级学号学生姓名指导教师电化学腐蚀多晶硅...
WORD论文利用深能级瞬态谱技术检测多晶硅太阳能免费论文查阅利用深能级瞬态谱技术检测多晶硅太阳能电池的深能级李葛亮李永祥邓彤窦智刘爱民5大连理工大学物理与...
[精品论文]多晶硅生产工艺学.doc,多晶硅生产工艺学绪论一、硅材料的发展概况半导体材料是电子技术的基础,早在十九世纪末,人们就发现了半导体材料,而真正实用...
每一道印刷工序后的烘干,实际上是为了使硅片表面电子浆料中的有机溶剂挥发,形成可与硅片紧密粘结的固体状金属膜层。烘干后的烧结工艺,实际上是为了使硅片和电...
【摘要】:本文首先对显示技术的发展和多晶硅薄膜的方法以及应用前景进行了综述,同时对Ni金属诱导非晶硅横向晶化多晶硅的研究现状以及诱导机理与应用等进行了系统概述...
分析测试,百科网,半导体所在单晶硅太阳电池研究中获得突破,由中科院半导体所韩培德研究员领导的光伏能源组,在国家纵向经费和自筹经费的支持下,瞄准光伏企业需...
性的测试,确保产品良好。9.一般硅片的制造常以几P几M及光罩层数(masklayer)来代表硅片工艺的时间长短,请问几P几M及光罩层数(masklayer)代表什幺意义?答:几P几M代表硅片的制造有几层的Poly(...