半导体光刻中晶圆缺陷问题的研究WaferDefectsIssueStudyLithography天津大学电子信息工程学院二零一二年五月指导教师:秦国轩副教授企业导师:高级工程师独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的...
同济大学机械工程学院硕士学位论文C半导体公司八寸晶圆制造过程工作研究姓名:杨东森申请学位级别:硕士专业:工业工程指导教师:徐克林;孔庆华20090301摘要摘要半导体制造工厂中操作工的主要工作内容是装载和卸载晶圆片。
半导体光刻中晶圆缺陷问题的研究.刘丰.【摘要】:在摩尔定律的指引下,半导体工业每两至三年就跨上一个新的台阶。.大量资金投入,工程技术人员的使用高于工业界平均比例,这些导致了半导体生产高昂的分摊成本,加上激烈竞争使得产品价格持续下滑...
作为半导体封装的第一道工序,划片质量的好坏直接影响到整体的封装质量。.而晶圆在划片过程中容易发生崩角、分层与剥离等缺陷(如图1),给划片工艺带来了挑战,促使划片工艺不断向前发展,目前,划片的方式主要有砂轮划片和激光划片。.砂轮划片...
半导体晶圆激光切割新技术.pdf,第36卷第3期激光技术Vo1.36.No.32012年5月LASERTECHNOLOGYMay,2012文章编号:1001—3806(2012)03—0293—05半导体晶圆激光切割新技术黄福民,谢小柱,魏昕,胡伟,苑学瑞(广东工业大学...
半导体论文范文一(1):题目:我国半导体产业在后摩尔时代的发展思考摘要:要对“后摩尔时代”下的半导体产业发展路径进行研究,就需要先把握好现阶段国内产业所处的发展阶段。本文研究立足于后摩尔时代这一背景,分析了现阶段我国半导体产业存在的问题,对比其他国家以及地区产业发展...
半导体工艺和晶圆缺陷检测技术的发展.半个多世纪以来,半导体行业按照摩尔定律不断发展,制程从微米量级缩小至如今的单数位纳米量级。.先进的工艺意味着更复杂的图案,而复杂的图案也需要更精细的缺陷检测技术。.从紫外光(UV)到深紫外光(DUV...
半导体技术发展过程中的基本分析.摘要:随着科技的不断创新和发展,半导体技术也取得了显著的发展成果,特别是半导体晶体管得到了非常广泛的运用,已经有越来越多的人们投入到了半导体技术相关的工作中。自从半导体技术的出现到现在,它已经逐渐渗透...
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【摘要】:该课题的开设是基于德州仪器半导体制造(成都)公司着手建立的“晶圆背面制程”项目,内容是将正常厚度为725μm的晶圆从背面研磨至100μm,然后经由背面酸碱法蚀刻后,继续在背面蒸镀金属的制程过程。完成上述制程的芯片将在器件热阻的降低、工作散热和冷却、封装厚度减薄等各个...
中国半导体晶圆厂的走向分析MarkLaPedus(中国电子工程专辑EET夔埸-√。.囊g≯.!中国半导体晶圆厂的走向分析MarkLaPedus(中国...
半导体材料介绍论文.doc,半导体材料介绍摘要:本文主要介绍半导体材料的特征、分类、工艺以及半导体材料的一些参数。半导体在我们的日常生活中应用很广泛,半...
来源:本文由公众号半导体行业观察(ID:icbank)原创,谢谢。日前,麻省理工学院助理教授MaxShulaker在DARPA电子复兴倡议(ERI)峰会上展示了一块碳纳米管+RRAM通过ILV技术堆叠的3DIC晶圆...
未来:晶圆代工增长率将高于行业水平胡春民:在半导体行业整体赢利不佳的情况下,中芯国际取得了相对亮丽的财报业绩.你如何判断未来几年全球晶圆代工市场的变化?...
半导体晶圆直接电化学纳米压印技术初探张琳【摘要】:具有三维微纳结构的材料通常具有优良的机械、电子、光学以及光电性能,使得微纳米技术在集成电路、集成光学、微机电...
摘要:半导体晶圆制造系统(SWFS)是典型的大规模复杂重入型制造系统。要解决SWFS全局生产调度优化及兼顾SWFS各区派工优化的实际问题,就必须整合具时变特征的多目...
2018年最新硕士论文提纲—半导体晶圆制造系统的生产调度优化半导体晶圆制造系统的生产调度优化摘要:本文结合具体案例,讨论了项目管理在晶圆制造系统KPI提升中的应用。首先定义了文中...
毕业设计论文报告题目半导体光刻工艺技术系别尚德光伏学院专业液晶显示技术与应用班级0801学生姓名学号指导教师2011年4月无锡科技职业学院毕业...
1.4半导体光刻蚀第29-31页1.5本论文的研究目的和设想第31-33页参考文献第33-47页第二章实验部分第47-57页2.1实验材料与试剂第47-48页2.1.1化学试剂第47...