更多相关参考论文设计文档资源请访问/lzj781219本论文中样品采用中科院沈阳科学仪器厂JGP350型磁控溅射镀膜机，真空抽气系统由机械泵（前级泵）和分子泵（主泵）组成，极限真空度可达2.010-4Pa。
2014磁控溅射镀膜技术文献综述论文.doc,磁控溅射镀膜技术文献综述摘要因现代科技发展的需求，真空镀膜技术得到了迅猛发展。镀膜技术可改变工件表面性能，提高工件的耐磨损、抗氧化、耐腐蚀等性能，延长工件使用寿命，具有很高的经济价值。
东莞南玻工程玻璃有限公司广东东莞523000[摘要]本文综合分析了当前磁控溅射的镀膜技术发展情况，并对该项镀膜技术实践应用，进行了有效性地研究，以能够全面了解与掌握磁控溅射的镀膜技术，将磁控溅射的镀膜技术各项功能优势充分应用在相应的行业领域当中，为广大镀膜玻璃生产企业...
磁控溅射法Cu膜论文.doc,.word版本.磁控溅射法Cu膜摘要沉积速率高、基材温升低的磁控溅射工艺，已经成为半导体集成电路金属化工艺的主流。本文重点对在硅晶圆上溅射金属铜薄膜的实际镀膜过程中的淀积速率进行了理论和实验研究。
磁控溅射具有“低温”、“高速”两大特点，故又称为高速低温溅射技术。二、实验图2高真空磁控溅射镀膜机真空室结构示意图按各部分的功能分类，该设备主要由真空系统、溅射镀膜系统、测量及控制系统三部分组成：1、真空系统及其测量
中国期刊网,期刊,杂志,读者服务,电子杂志,论文,文库,期刊网,电子刊[导读]国内外正在不断扩大应用磁控溅射技术的范围，促使磁控溅射现已发展成为镀膜工业生产中一项最关键的技术，但同时磁控溅射中的靶材也显现出一些不足。
东北大学硕士学位论文第2章磁控溅射原理和镀膜装置第2章磁控溅射原理和镀膜装置科学和生产发展的事实说明，电子学的发展深刻地影响着当今社会的各个领域。在电子学的发展中，起重要作用的是在理论研究的指导下，关键性新器件和新...
单位代码：学号：100862010233铝合金轮毂表面磁控溅射镀膜工艺的研究Studyaluminumalloywheelmagnetronsputteringprocess学位申请人：指导教师：学科专业：学位类别：授予单位：答辩日期：机械制造及其自动化工学硕士河北农业大学二。
分类号UDC密级学位论文1931143小圆平面靶磁控溅射镀膜均匀性的研究作者姓名：指导教师：张以忱副教授东北大学真空与流体工程研究所申请学位级别：硕士学科类别：工学学科专业名称：流体机械及工程论文提交日期：2008年6月论文答辩日期：2008年7月学位授予日期：东北大…
微颗粒表面磁控溅射镀膜研究.俞晓正.【摘要】：在粉体颗粒表面镀薄膜可显著增强其应用功效。.磁控溅射沉积作为一种高质量的镀膜方法,也逐渐被应用于粉体颗粒表面镀膜。.本论文根据磁控溅射及粉体颗粒的特点,设计并研制了一套微颗粒磁控溅射镀膜...
内容提示:磁控溅射镀膜技术文献综述摘要因现代科技发展的需求,真空镀膜技术得到了迅猛发展。镀膜技术可改变工件表面性能,提高工件的耐磨损、抗氧化、...
大功率磁控溅射镀膜开关电源的研究与设计论文首先介绍了目前开关电源的发展现状以及趋势、开关电源的原理;磁控溅射工艺环节的原理,以及溅射镀膜技术的应用领域。然后论证了...
基于上篇文章对磁控溅射镀膜整体原理介绍,本文细化理解一下这项技术涉及的三个物理过程,由于过程反应非常繁琐,文章属于笼统介绍,适合新接触此领域的读者作为初步学习了解。导读:溅...
论文>管理论文>磁控溅射镀膜的简介及其实际操作磁控溅射镀膜的简介及其实际操作作者:徐超群作者单位:乐山师范学院物理与电子工程系【摘要】溅射技术的最...
134页文档大小:3.53M文档热度:文档分类:论文--毕业论文文档标签:论文专业离子材料学模拟计算射频溅射镀膜的磁控溅射法磁控溅射系统标签:溅...
关键词:磁控溅射较膜辉光放电,中图分类号:G4文献标识码:A文章编号:1673-9795(2013)1O(b)-O136—02溅射镀膜过程主要是将欲沉积成薄膜在150℃...
内容提示:毕业设计(论文)课题名称:磁控溅射镀膜设计专业:热能动力设备及应用毕业设计任务书毕业设计题目:在φ58×2100mm的玻璃管上,采用真空磁控溅射...
【摘要】:磁控溅射镀膜是工业镀膜生产中最主要的技术之一,尤其适合于大面积镀膜生产。生产中需特别关注靶材利用率、沉积速率以及溅射过程稳定性等方面的问题,其根本在于整个...
《磁控溅射镀膜上位机控制系统设计论文》由会员分享,可在线阅读,更多相关《磁控溅射镀膜上位机控制系统设计论文(25页珍藏版)》请在人人文库网上搜索。1、目录中...
1郭亚军;轴瓦磁控溅射镀膜技术及其材料力学性能研究[D];哈尔滨工程大学;2002年2赵禹;聚合物光波导和阵列波导光栅的基础研究[D];吉林大学;2004年中国硕士学位论文全文数据...