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磁控溅射法氧化锌铝薄膜及其性能研究.周苏.【摘要】：目前应用最广泛的透明导电膜是铟锡氧化物薄膜(ITO),其技术是成熟的,但由于InSn等材料有自然储量少、工艺复杂、有毒、稳定性差等缺点。.因此,急需一种替代产品来满足人们的需要。.ZAO...
磁控溅射法AZO透明导电薄膜及其性能研究暨南大学硕士论文磁控溅射法AZO透明导电薄膜及其性能研究近年来,透明导电薄膜已成为液晶显示、触控面板、太阳能电池等的关键性材料之一,越来越受到人们的重视。
在双面氧化长有1.4um的二氧化硅的p100硅片上面用磁控溅射镀上1.2um的铝，镀完后发现有很大部分区域颜色发黑，没有铝金属光泽。用万用表测试是否短路发现颜色较浅的区域能导通，颜色最暗的小部分区域无法导通，显示有很小的电阻。然后按照...
三氧化二铝靶材Al2O3靶材磁控溅射靶材科研实验专用三氧化二铝靶材Al2O3靶材磁控溅射靶材电子束镀膜蒸发料纯度99.99%产品介绍氧化铝（Al2O3）在矿业、制陶业和材料科
关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题.作者suifeng_muiq.来源:小木虫60012帖子.+关注.我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，靶材为2英寸的SiO2.溅射功率是100w和150w，工作气压是0.1Pa。.然后对SiO2的绝缘性进行测试，发现200nm，250nm的二氧化硅的绝缘性不好...
西北大学硕士学位论文磁控溅射法氧化锌薄膜的和光学性能研究姓名：朱冠芳申请学位级别：硕士专业：光学指导教师：姚合宝20080605西北大学硕士论文摘要紫外波段激光器在信息显示和信息存储方面，具有存储密度高，反应速度快等特点，特别是在海底探测、紫外通讯、光存储、诊断...
磁控溅射五氧化二钒薄膜的研究李志栓～，吴孙桃，李静，郭东辉。(1．厦门大学物理系，福建厦门361005；2．厦门大学萨本栋微机电研究中心，福建厦门361005)摘要：采用射频磁控溅射的方法，在不同条件下制
磁控溅射论文亲水性论文二氧化钛薄膜论文版权申明：目录由用户yongganl**提供，51papers仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
本发明具体涉及一种在利用磁控溅射A相二氧化钒薄膜的方法，属于新型无机功能材料领域。背景技术钒的四价氧化物二氧化钒晶相结构种类繁多，已知的结构有金红石相结构(R相)，单斜相结构(M相)，三斜相结构(T相)，以及中间相A相和B相。其中的M相和R相二氧化钒由于可以相互转化，且相变温度...
在本实施方式中，通过射频磁控溅射工艺在金属衬底100上溅射一层三氧化二铝作为第一隔离层200，其厚度例如约为1-2微米。[0023]在步骤S203中，在第一隔离层200上通过溅射法生成第二隔离…
磁控溅射铝薄膜毕业论文_能源/化工_工程科技_专业资料人阅读|次下载磁控溅射铝薄膜毕业论文_能源/化工_工程科技_专业资料。磁控溅射铝薄膜毕业论文目录第1...
内容提示:西安工业大学硕士学位论文磁控溅射镀制Al<,2>O<,3>薄膜及其应用姓名:张继凯申请学位级别:硕士专业:光学工程指导教师:朱昌20100506磁控溅射镀...
这一速率大大高于直流反应磁控溅射的典型值,直流磁控典型工作在靶电压为-500～一400V,在脉冲溅...它吸引了很多从商者的兴趣,本研究的目的是详细研究利...
东北大学(自然科学版)第2812O3薄膜的溅射沉积实验是在自制的中频真空磁控溅射系统上进行的.溅射用的两个孪生金属铝靶纯度为99.99%.靶形为长270[DATI,...
有用过磁控溅射（最好是沈科仪的）做氧化铝薄膜的吗？衬底是陶瓷材料。用铝靶通氧气反应溅射和直接溅射...
另一方面,本文采用磁控溅射方法了铜(钼)/氧化铝纳米多层膜,并研究了多层厚度周期对多层膜结构的力学和热学等性能的影响机制。XRD研究表明采用磁控溅射法的氧化铝薄...
关键词:二氧化钛薄膜论文三氧化二铝薄膜论文射频磁控溅射文光学性能论文本论文由7ctime整理提供,需要论文可以联系客服人员哦。摘要5-7ABSTRACT7-10...
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三氧化二铝薄膜直流磁控溅射射频磁控溅射沉积速率薄膜传感器绝缘膜性能作者:张新宇学位授予单位:中北大学授予学位:硕士学科专业:机械工程导师姓名:武来沁雄...
关键词:磁控溅射三氧化二铝发光薄膜正交试验中频反应磁控溅射技术作者:廖国进巴德纯闻立时刘斯明阎绍峰作者单位:东北大学,机械与自动化学院,辽宁,沈阳,...