因此，氧化锌的研究已成为继GaN之后宽带隙半导体研究的又一热点。.本文利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上了高质量ZnO薄膜，并对其结构和发光性能进行了研究，主要内容如下：1．通过XRD衍射谱分析了溅射功率、衬底温度、氧氩气体流量比、工作气压...
西北大学硕士学位论文磁控溅射法氧化锌薄膜的和光学性能研究姓名：朱冠芳申请学位级别：硕士专业：光学指导教师：姚合宝20080605西北大学硕士论文摘要紫外波段激光器在信息显示和信息存储方面，具有存储密度高，反应速度快等特点，特别是在海底探测、紫外通讯、光存储、诊断...
磁控溅射法氧化锌铝薄膜及其性能研究.周苏.【摘要】：目前应用最广泛的透明导电膜是铟锡氧化物薄膜(ITO),其技术是成熟的,但由于InSn等材料有自然储量少、工艺复杂、有毒、稳定性差等缺点。.因此,急需一种替代产品来满足人们的需要。.ZAO...
氧化锌基薄膜晶体管的磁控溅射法及其性能研究.【摘要】：ZnO是一种新型的直接带隙宽禁带Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料,室温下的禁带宽度为3.37eV,其激子结合能高达60meV,可以实现室温下的高效激子复合发光,是一种理想的短波长发光器件材料。.目前,以ZnO基...
提供中频磁控溅射法氧化锌钇薄膜及其性能研究(论文)word文档在线阅读与免费下载，摘要:真空科学与技术学报422CHINKSEJOURNALOFVACI．FLMSCIENCEANDTECHNOLOGY第27卷第5朗2【x丌年9、10月中频磁控溅射法氧化锌钇薄膜及其性能研究孙若男＋庄大明张日（清华大学机械J_程系北…
磁控溅射铜、氢共掺杂氧化锌薄膜及其透明导电性能的分析word论文.docx.55页.内容提供方：sheppha.大小：1.54MB.字数：约4.37万字.发布时间：2018-02-08.浏览人气：3.下载次数：仅上传者可见.收藏次数：0.
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提供磁控溅射法氮掺杂的氧化锌薄膜word文档在线阅读与免费下载，摘要:西北大学学报(自然科学版)2009年4月,第39卷第2期,Apr.,2009,Vol.39,No.2JournalofNorthwestUniversity(NaturalScienceEdition)磁控溅射法氮掺杂的氧化锌薄膜肖锋伟
氧分压对射频磁控溅射氧化锌薄膜光电学性质的影响文档贡献者愿辞贡献于2015-01-121/2相关文档推荐氩氧比对RF磁控溅射...3页2下载券射频磁控溅射法氧化...49页5下载券ZnO薄膜的射频磁控溅射制...
射频溅射生长氧化锌及氧化锌的腐蚀.【摘要】：ZnO是一种新型的宽禁带半导体材料,同时也是一种机电耦合系数较大的压电材料。.在光电器件、声光器件和声表面波器件等领域有很大的应用潜力。.本文采用正交试验的方法利用射频磁控溅射系统在石英衬底上...
真空科学与技术学报422CHINKSEJOURNALOFVACI.FLMSCIENCEANDTECHNOLOGY第27卷第5朗2【x丌年9、10月中频磁控溅射法氧化锌钇薄膜及其性能研究孙若男+庄大明...
工学硕士学位论文磁控溅射及直接氧化法氧化锌薄膜及其结构与性质SYNTHESISZnOFILMSMAGNETRONSPUTTERINGDIRECTOXIDATION哈尔滨工业大学2009国内图书...
关键词:射频磁控溅射;ZnO薄膜;微结构;光学性能中图分类号484文献标识码8935(2008)02-000104ZnO是一种具有纤锌矿结构的自激活直接带隙宽禁带半导体材料...
第五届全国光子学大会会议论文集第七分册:其它43磁控溅射工艺影响氧化锌薄膜的晶体结构研究潘志峰1,2,袁一方(1.上海理工大学光电学院,上海200093济宁医学...
本文使用多靶位共溅射新型射频磁控溅射系统,在单晶Si衬底上氧化锌薄膜并进行退火处理,研究不同退火温度对氧化锌薄膜的形貌、结晶、光致发光等物性的影响。研究结果如下:...
【摘要】:本论文采用射频磁控溅射在单晶Si衬底上ZnO薄膜,研究了不同衬底温度对ZnO薄膜形貌、结晶和发光等物性的影响。研究结果如下:利用射频磁控溅射法沉积了一系列氧化...
磁控溅射工艺影响氧化锌薄膜的晶体结构的研究.pdf,第五届全国光子学大会会议论文集第七分册:其它磁控溅射工艺影响氧化锌薄膜的晶体结构研究1,2132潘志峰...
有图3可以看出薄膜的生长界面和原子的扩散有关,氧气的量可以直接的影响金属的的性质,过多的氧气可以氧化金属靶,尤其是用反应磁控溅射ZnO薄膜的装置中,氧气...
磁控溅射法ZNO薄膜(精品论文)下载积分:900内容提示:摘要们为忧祭带—族化合物半导体薄膜材料的研究受到』’泛的重视。本沦文采用刺频磁控溅射法在载玻...
内容提示:上海大学硕士学位论文磁控溅射法ZnO薄膜姓名:陆液申请学位级别:硕士专业:材料学指导教师:朱兴文20060201摘要I'4I:;『』忧祭带lI—VI族化合...